FZ CZ Si пластина на склад 12-инчова силициева пластина Prime или Test
Въвеждане на кутия за вафли
Полирани вафли
Силициеви пластини, специално полирани от двете страни, за да се получи огледална повърхност. Превъзходните характеристики като чистота и плоскост определят най-добрите характеристики на тази пластина.
Нелегирани силициеви пластини
Те са известни още като присъщи силициеви пластини. Този полупроводник е чиста кристална форма на силиций без наличието на каквато и да е добавка в цялата пластина, което го прави идеален и съвършен полупроводник.
Легирани силициеви пластини
N-тип и P-тип са двата вида легирани силициеви пластини.
Силициевите пластини, легирани от N-тип, съдържат арсен или фосфор. Той се използва широко в производството на усъвършенствани CMOS устройства.
Силициеви пластини тип P, легирани с бор. Използва се предимно за направата на печатни платки или фотолитография.
Епитаксиални пластини
Епитаксиалните пластини са конвенционални пластини, използвани за постигане на повърхностна цялост. Епитаксиалните пластини се предлагат в дебели и тънки пластини.
Многослойни епитаксиални пластини и дебели епитаксиални пластини също се използват за регулиране на консумацията на енергия и контрол на мощността на устройствата.
Тънките епитаксиални пластини често се използват в превъзходни MOS инструменти.
SOI пластини
Тези пластини се използват за електрическо изолиране на фини слоеве от монокристален силиций от цялата силициева пластина. SOI пластините се използват често в силициевата фотоника и високопроизводителни RF приложения. SOI пластините се използват и за намаляване на паразитния капацитет на устройствата в микроелектронните устройства, което спомага за подобряване на производителността.
Защо производството на вафли е трудно?
12-инчовите силициеви пластини са много трудни за рязане по отношение на добива. Въпреки че силицийът е твърд, той е и крехък. Създават се грапави зони, тъй като нарязаните ръбове на пластините са склонни да се чупят. Диамантени дискове се използват за изглаждане на ръбовете на пластините и отстраняване на всякакви повреди. След рязане пластините се чупят лесно, защото сега имат остри ръбове. Ръбовете на пластините са проектирани по такъв начин, че крехките, остри ръбове се елиминират и се намалява вероятността от подхлъзване. В резултат на операцията по оформяне на ръбовете, диаметърът на пластината се регулира, пластината се заоблява (след нарязване отрязаната пластина е овална) и се правят или оразмеряват прорези или ориентирани равнини.
Подробна диаграма


