6-инчова силиконова пластина N-тип или P-тип CZ Si вафла
Представяне на кутия за вафли
Спецификациите на силиконовата пластина:
Растеж на 6-инчова силиконова пластина: CZ, MCZ, FZ。
6 Степен на силиконова пластина: първичен, тестов, манекен и др
6-инчова силиконова пластина Диаметър: 6 инча/150 мм.
6-инчова силиконова пластина с дебелина: 200 ~ 3000 um.
6-инчова силиконова пластина Покритие: като изрязани, припокрити, гравирани, SSP, DSP и др.
6-инчова силиконова пластина Ориентация: (100) (111) (110) (531)(553) и т.н.
6-инчова силиконова пластина Изрязване: до 4 градуса.
6-инчова силиконова пластина Тип/добавка: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, вътрешен.
6-инчова силиконова пластина Съпротивление: CZ/MCZ: От 0,001 до 1000 ohm-cm.FZ: до 20k ohm-cm.
6-инчови силиконови пластини Тънки филми: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. и т.н., дебелини на покритието до 20.000A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: оксид, нитрид, siC и т.н., дебелини на покритието до 200 000 A/3%.
(c) Силиконови епитаксиални пластини и епитаксиални услуги (SOS, GaN, GOI и т.н.).
6-инчова силиконова пластина Процеси: a.DSP, ултра тънък, ултра плосък и др.
b.Намаляване, обратно смилане, нарязване на кубчета и т.н.c.MEMS.
От 2010 г. Shanghai XKH Material Tech.Co., Ltd се е ангажирала да предоставя на клиентите цялостни решения за 4-инчови вафли Silicon Wafer, от вафли с ниво на отстраняване на грешки Dummy Wafer, вафли с тестово ниво Test Wafer, до вафли на продуктово ниво Prime Wafer, както и специални вафли, оксидни вафли Oxide, Нитридни пластини Si3N4, пластини с алуминиево покритие, силиконови пластини с медно покритие, SOI пластини, MEMS стъкло, персонализирани ултра-дебели и ултра-плоски пластини и т.н., с размери, вариращи от 50mm-300mm, и ние можем да предоставим полупроводникови пластини с едностранни /двустранно полиране, изтъняване, нарязване, MEMS и други услуги за обработка и персонализиране.