6-инчова силициева пластина N-тип или P-тип CZ Si пластина
Въвеждане на кутия за вафли
Спецификации на силициевата пластина:
6-инчов растеж на силициеви пластини: CZ, MCZ, FZ.
6 Степен на силициева пластина: Prime, Test, Dummy и др.
Диаметър на 6-инчовата силициева пластина: 6 инча/150 мм.
Дебелина на 6-инчова силициева пластина: 200~ 3000um.
6-инчова силициева пластина. Финиш: Изрязан, припокрит, гравиран, SSP, DSP и др.
Ориентация на 6-инчова силициева пластина: (100) (111) (110) (531) (553) и др.
6-инчова силициева пластина, изрязана на ъгъл: до 4 градуса.
6-инчова силициева пластина Тип/допант: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6-инчова силициева пластина. Съпротивление: CZ/MCZ: от 0,001 до 1000 ohm-cm. FZ: до 20k ohm-cm.
6-инчови тънкослойни силициеви пластини: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo и др., дебелини на покритието до 20 000 Å/5%.
(b) LPCVD/PECVD: Оксид, нитрид, SiC и др., дебелина на покритието до 200 000 Å/3%.
(в) Силициеви епитаксиални пластини и епитаксиални услуги (SOS, GaN, GOI и др.).
6-инчови силициеви пластини. Процеси: a.DSP, ултратънки, ултраплоски и др.
b. Намаляване на размера, обратно шлифоване, нарязване на кубчета и др. c. MEMS.
От 2010 г. насам, Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd е ангажирана да предоставя на клиентите си цялостни решения за 4-инчови силициеви пластини, от пластини за отстраняване на грешки Dummy Wafer, пластини за тестово ниво Test Wafer до пластини на продуктово ниво Prime Wafer, както и специални пластини, оксидни пластини Oxide, нитридни пластини Si3N4, пластини с алуминиево покритие, силициеви пластини с медно покритие, SOI пластини, MEMS стъкло, персонализирани ултрадебели и ултраплоски пластини и др., с размери от 50 мм до 300 мм, като можем да предоставим полупроводникови пластини с едностранно/двустранно полиране, изтъняване, нарязване, MEMS и други услуги за обработка и персонализиране.
Подробна диаграма


