Ултрапрецизна SiC въздушна лагерна платформа

Ултрапрецизна SiC платформа с въздушни лагери, представено изображение

Кратко описание:

С непрекъснатото развитие на полупроводниковата индустрия, оборудването за обработка и инспекция изисква все по-висока производителност. Надграждайки върху богатия си опит в управлението на движението и позиционирането на нанометрово ниво, ние разработихме планарна двуосна ултрапрецизна платформа с въздушни лагери тип H.

Изпратете ни имейл

Характеристики

Подробна диаграма

Общ преглед

Проектирана с оптимизирана по метода на крайните елементи керамична структура от силициев карбид (SiC) и технология с компенсирани въздушни лагери, платформата осигурява изключителна точност, твърдост и динамичен отклик. Тя е идеално подходяща за:

Обработка и инспекция на полупроводници
Микро/нано производство и метрология
Нанометрово рязане и полиране с летяща повърхност
Високоскоростно прецизно сканиране

Основни характеристики

Направляваща с въздушни лагери SiCза ултрависока твърдост и прецизност
Висока динамика: скорост до 1 m/s, ускорение до 4 g, бързо установяване
Двузадвижващ портален Y-ососигурява висока товароносимост и стабилност
Опции на енкодераоптична решетка или лазерен интерферометър
Точност на позициониране±0,15 μm;повторяемост±75 нм
Оптимизирано насочване на кабелитеза изчистен дизайн и дългосрочна надеждност
Персонализируеми конфигурацииза специфични за приложението нужди

Ултрапрецизен дизайн и директно задвижване, безконтактна архитектура

SiC керамична рамка: ~5× твърдостта на алуминиевата сплав и ~5× по-ниско термично разширение, което осигурява стабилност при висока скорост и термична устойчивост.
Компенсиран въздушен лагерПатентованият дизайн подобрява твърдостта, товароносимостта и стабилността на движението.
Динамична производителностПоддържа скорост от 1 m/s и ускорение от 4 g, идеално за процеси с висока производителност.
Безпроблемна интеграцияСъвместим със системи за изолиране на вибрациите, ротационни платформи, накланящи се модули и платформи за работа с пластини.
Управление на кабелиКонтролираният радиус на огъване минимизира напрежението за удължен експлоатационен живот.

Линеен мотор без сърцевинаПлавно движение с нулева сила на зъбно колело.
Многомоторно задвижванеРазположението на двигателя в равнината на натоварване подобрява праволинейността, плоскостността и ъгловата прецизност.
Термична изолацияДвигателите са изолирани от конструкцията на сцената; опционално въздушно или водно охлаждане за цикли на високо натоварване.

Спецификации

Модел	400-400	500-500	600-600
Брадви	X (сканиране) / Y (стъпка)	X (сканиране) / Y (стъпка)	X (сканиране) / Y (стъпка)
Ход (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Точност (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Повторяемост (nm)	±75	±100	±100
Разделителна способност (nm)	0.3	0.3	0.3
Максимална скорост (м/с)	1	1	1
Ускорение (g)	4	4	4
Праволинейност (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Стабилност (nm)	±5	±5	±5
Максимално натоварване (кг)	20	20	20
Наклон/Климатик/Отклонение от курса (дъгова сек.)	±1	±1	±1

Условия на теста:

Подаван въздух: чист, сух; точка на оросяване ≤ 0°F; филтрация на частици ≤ 0,25 μm; или 99,99% азот.
Точност, измерена на 25 mm над центъра на предметната маса при 20±1 °C, 40–60% относителна влажност.

Приложения

Полупроводникова литография, инспекция и обработка на пластини
Микро/нано производство и прецизна метрология
Производство на висококачествена оптика и интерферометрия
Аерокосмически и напреднали научни изследвания

ЧЗВ – Силициево-карбидна платформа за въздушни лагери

1. Какво е въздушно-носеща сцена?

Пневматичната платформа използва тънък филм от сгъстен въздух между платформата и направляващата, за да осигурибез триене, без износване и ултраплавно движениеЗа разлика от конвенционалните механични лагери, той елиминира ефекта на залепване и приплъзване, осигурява точност на нанометрово ниво и поддържа дългосрочна надеждност.

2. Защо да използваме силициев карбид (SiC) за структурата на сцената?

Висока твърдост: ~5× повече от това на алуминиевата сплав, което минимизира деформацията по време на динамично движение.
Ниско термично разширение: ~5× по-ниска от алуминия, запазвайки точността при температурни колебания.
ЛекаПо-ниска плътност в сравнение със стоманата, което позволява работа с висока скорост и високо ускорение.
Отлична стабилностПревъзходно амортисьорно демпфиране и твърдост за ултра прецизно позициониране.

3. Изисква ли сцената смазване или поддръжка?

Не е необходимо традиционно смазване, тъй като имабез механичен контактПрепоръчителната поддръжка включва:

Доставянечист, сух сгъстен въздух или азот
Периодична проверка на филтрите и сушилните
Мониторинг на кабели и охладителни системи

4. Какви са изискванията за подаване на въздух?

Точка на оросяване: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Филтрация на частици: ≤ 0,25 μm
Чист, сух въздух или 99,99% чист азот
Стабилно налягане с минимални колебания

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.