Силициево-карбидна (SiC) вафлена лодка

Кратко описание:

Лодката за пластини от силициев карбид (SiC) е полупроводников носител за процеси, изработен от високочист SiC материал, предназначен за задържане и транспортиране на пластини по време на критични високотемпературни процеси като епитаксия, окисление, дифузия и отгряване.

Изпратете ни имейл

Характеристики

Подробна диаграма

Преглед на кварцовото стъкло

С бързото развитие на силовите полупроводници и устройствата с широка забранена зона, конвенционалните кварцови лодки са изправени пред ограничения като деформация при високи температури, силно замърсяване с частици и кратък експлоатационен живот. Лодките от SiC пластини, отличаващи се с превъзходна термична стабилност, ниско замърсяване и удължен живот, все повече заместват кварцовите лодки и се превръщат в предпочитан избор в производството на SiC устройства.

Основни характеристики

1. Предимства на материалите

Произведен от високочист SiC свисока твърдост и якост.
Точка на топене над 2700°C, много по-висока от кварца, осигуряваща дългосрочна стабилност в екстремни условия.

2. Термични свойства

Висока топлопроводимост за бърз и равномерен топлопренос, минимизираща напрежението върху пластината.
Коефициентът на термично разширение (CTE) е точно съпоставим с този на SiC субстратите, което намалява изкривяването и напукването на пластините.

3. Химична стабилност

Стабилен при висока температура и различни атмосфери (H₂, N₂, Ar, NH₃ и др.).
Отлична устойчивост на окисляване, предотвратяваща разлагането и образуването на частици.

4. Производителност на процеса

Гладката и плътна повърхност намалява отделянето на частици и замърсяването.
Запазва размерната си стабилност и товароносимостта след продължителна употреба.

5. Ефективност на разходите

3–5 пъти по-дълъг експлоатационен живот от кварцовите лодки.
По-ниска честота на поддръжка, намалявайки времето за престой и разходите за подмяна.

Приложения

SiC епитаксияПоддържане на 4-инчови, 6-инчови и 8-инчови SiC подложки по време на епитаксиален растеж при висока температура.
Изработка на захранващи устройстваИдеален за SiC MOSFET, диоди с Шотки бариера (SBD), IGBT и други устройства.
Термична обработкаПроцеси на отгряване, нитриране и карбонизация.
Окисление и дифузияСтабилна платформа за поддържане на пластини за високотемпературно окисление и дифузия.

Технически спецификации

Елемент	Спецификация
Материал	Силициев карбид с висока чистота (SiC)
Размер на вафлата	4-инчов / 6-инчов / 8-инчов (персонализира се)
Максимална работна температура	≤ 1800°C
КТР на термично разширение	4,2 × 10⁻⁶ /K (близо до SiC субстрат)
Топлопроводимост	120–200 W/m·K
Грапавост на повърхността	Ra < 0,2 μm
Паралелизъм	±0,1 мм
Срок на експлоатация	≥ 3× по-дълги от кварцовите лодки

Сравнение: Кварцова лодка срещу SiC лодка

Размер	Кварцова лодка	Лодка от силициев диоксид
Температурна устойчивост	≤ 1200°C, деформация при висока температура.	≤ 1800°C, термично стабилен
Съвпадение на CTE със SiC	Голямо несъответствие, риск от напрежение на пластината	Близко съвпадение, намалява напукването на пластината
Замърсяване с частици	Високо, генерира примеси	Ниска, гладка и плътна повърхност
Срок на експлоатация	Кратка, честа подмяна	Дълъг, 3–5 пъти по-дълъг живот
Подходящ процес	Конвенционална Si епитаксия	Оптимизиран за SiC епитаксия и силови устройства

ЧЗВ – Лодки от силициев карбид (SiC) за пластини

1. Какво е лодка от SiC пластини?

Лодката за SiC пластини е полупроводников носител за обработка, изработен от силициев карбид с висока чистота. Използва се за задържане и транспортиране на пластини по време на високотемпературни процеси като епитаксия, окисление, дифузия и отгряване. В сравнение с традиционните кварцови лодки, лодките за SiC пластини предлагат превъзходна термична стабилност, по-ниско замърсяване и по-дълъг експлоатационен живот.

2. Защо да изберете лодки от SiC пластини пред кварцови лодки?

По-висока температурна устойчивостСтабилен до 1800°C спрямо кварц (≤1200°C).
По-добро съвпадение на CTEБлизо до SiC подложки, минимизиране на напрежението и напукването на пластината.
По-ниско генериране на частициГладката, плътна повърхност намалява замърсяването.
По-дълъг живот: 3–5 пъти по-дълги от кварцовите лодки, което намалява разходите за притежание.

3. Какви размери на пластините могат да поддържат SiC пластинковите лодки?

Предлагаме стандартни дизайни за4-инчов, 6-инчов и 8-инчоввафли, с пълна възможност за персонализиране, за да се отговори на нуждите на клиентите.

4. В кои процеси най-често се използват лодки от SiC пластини?

Епитаксиален растеж на SiC
Производство на силови полупроводникови устройства (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Високотемпературно отгряване, нитриране и карбонизация
Процеси на окисление и дифузия

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.