Машина за рязане с диамантена тел от силициев карбид, обработка на SiC блокове 4/6/8/12 инча

Кратко описание:

Машината за рязане с диамантена тел от силициев карбид е вид високопрецизно обработващо оборудване, предназначено за рязане на блокове от силициев карбид (SiC). Използва технологията на диамантено-телово триене, чрез високоскоростно движеща се диамантена тел (диаметър на линията 0,1~0,3 мм) до многожилно рязане на SiC блокове, за постигане на високопрецизна подготовка на пластини с минимално увреждане. Оборудването се използва широко в обработката на подложки на SiC силови полупроводници (MOSFET/SBD), радиочестотни устройства (GaN-on-SiC) и оптоелектронни устройства и е ключово оборудване в SiC индустрията.

Изпратете ни имейл

Характеристики

Принцип на работа:

1. Фиксиране на слитъци: Слитъкът от SiC (4H/6H-SiC) се фиксира върху платформата за рязане чрез приспособление, за да се осигури точност на позициониране (±0,02 мм).

2. Движение на диамантената линия: диамантената линия (галванизирани диамантени частици на повърхността) се задвижва от системата с направляващи колела за високоскоростна циркулация (скорост на линията 10~30 м/с).

3. Подаване при рязане: слитъкът се подава по зададената посока и диамантената линия се реже едновременно с множество успоредни линии (100~500 линии), за да се образуват множество пластини.

4. Охлаждане и отстраняване на стружки: Напръскайте охлаждаща течност (дейонизирана вода + добавки) в зоната на рязане, за да намалите топлинните повреди и да отстраните стружките.

Ключови параметри:

1. Скорост на рязане: 0,2~1,0 мм/мин (в зависимост от посоката на кристала и дебелината на SiC).

2. Опъване на кордата: 20~50N (твърде високото лесно скъсва кордата, твърде ниското влияе върху точността на рязане).

3. Дебелина на пластината: стандартна 350~500μm, пластината може да достигне 100μm.

Основни характеристики:

(1) Точност на рязане
Толеранс на дебелина: ±5μm (@350μm пластина), по-добър от конвенционалното рязане с хоросан (±20μm).

Грапавост на повърхността: Ra <0,5 μm (не е необходимо допълнително шлайфане, за да се намали количеството последваща обработка).

Изкривяване: <10μm (намалява трудността при последващо полиране).

(2) Ефективност на обработката
Многолинейно рязане: рязане на 100~500 броя наведнъж, увеличавайки производствения капацитет 3~5 пъти (в сравнение с еднолинейно рязане).

Живот на линията: Диамантената линия може да реже 100~300 км SiC (в зависимост от твърдостта на слитъка и оптимизацията на процеса).

(3) Обработка с ниски щети
Счупване на ръбовете: <15μm (традиционно рязане >50μm), подобрява добива на пластината.

Подповърхностен увреден слой: <5μm (намалява отстраняването на полиране).

(4) Опазване на околната среда и икономика
Без замърсяване на строителния разтвор: Намалени разходи за изхвърляне на отпадъчни течности в сравнение с рязането на строителния разтвор.

Използване на материала: Загуба при рязане <100μm/остър, спестяване на SiC суровини.

Режещ ефект:

1. Качество на пластината: без макроскопични пукнатини по повърхността, малко микроскопични дефекти (контролируемо удължаване на дислокациите). Може директно да влезе в звено за грубо полиране, съкращавайки технологичния поток.

2. Консистенция: отклонението в дебелината на пластината в партидата е <±3%, подходящо за автоматизирано производство.

3. Приложимост: Поддържа рязане на блокове 4H/6H-SiC, съвместимо с проводим/полуизолиран тип.

Техническа спецификация：

Спецификация	Детайли
Размери (Д × Ш × В)	2500x2300x2500 или персонализиране
Диапазон на размерите на обработваемия материал	4, 6, 8, 10, 12 инча силициев карбид
Грапавост на повърхността	Ra≤0,3u
Средна скорост на рязане	0,3 мм/мин
Тегло	5,5 тона
Стъпки за настройка на процеса на рязане	≤30 стъпки
Шум от оборудването	≤80 dB
Опъване на стоманена тел	0~110N (0,25 опъване на телта е 45N)
Скорост на стоманена тел	0~30 м/с
Обща мощност	50 кВт
Диаметър на диамантеното въже	≥0,18 мм
Крайна плоскост	≤0,05 мм
Скорост на рязане и чупене	≤1% (с изключение на човешки причини, силициев материал, линия, поддръжка и други причини)

Услуги на XKH:

XKH предоставя цялостно обслужване на машина за рязане с диамантена тел от силициев карбид, включително избор на оборудване (съответствие между диаметъра и скоростта на телта), разработване на процеса (оптимизиране на параметрите на рязане), доставка на консумативи (диамантена тел, водещо колело) и следпродажбено обслужване (поддръжка на оборудването, анализ на качеството на рязане), за да помогне на клиентите да постигнат висок добив (>95%), нискобюджетно масово производство на SiC пластини. Също така предлага персонализирани подобрения (като ултратънко рязане, автоматизирано зареждане и разтоварване) с време за изпълнение от 4 до 8 седмици.