Силициев карбид керамична тава Sucker Silicon Carbide Ceramic Tube Supply високотемпературно синтероване по поръчка обработка на персонализирана обработка

Силиконов карбид керамична тава Sucker Silicon Carbide Ceramic Tube Supply High Temperation Suntering Персонализирана обработка с изображение

Кратко описание:

Керамичните тави с силициев карбид и керамичните тръби от силициев карбид са незаменими високоефективни материали при производството на полупроводници. Силиконовата карбидна керамична тава се използва главно при обработка на вафли фиксирани и лагери, за да се гарантира стабилността на процеса на висок точ; Силициевите карбидни керамични тръби се използват широко в епруветки с висока температура, тръби за дифузионна пещ и други сценарии, за да издържат на екстремни среди и поддържане на ефективно термично управление. И двете се основават на силициев карбид като основен материал, който се превърна в ключов компонент в полупроводниковата индустрия поради отличните си физически и химични свойства.

Изпратете имейл до нас

Детайл на продукта

Етикети на продукта

Основни характеристики:

1. Силиконов карбид керамична тава
- Висока твърдост и устойчивост на износване: Твърдостта е близка до диаманта и може да издържи механичното износване при обработката на вафли за дълго време.
- Висока топлинна проводимост и нисък коефициент на термично разширение: бързо разсейване на топлина и стабилност на размерите, като се избягва деформацията, причинена от термичен стрес.
- Висока плоска и повърхностно покритие: Повърхностната плоскост е до нивото на микрона, като гарантира пълен контакт между вафлата и диска, намалявайки замърсяването и повредата.
Химическа стабилност: Силна устойчивост на корозия, подходяща за мокро почистване и ецване на процеси при производство на полупроводници.
2. Силиконов карбиден керамичен тръба
- Високотемпературна съпротивление: Тя може да работи във високотемпературна среда над 1600 ° C за дълго време, подходяща за полупроводников високотемпературен процес.
Отлична устойчивост на корозия: устойчива на киселини, алкали и различни химически разтворители, подходящи за сурови процеси.
- Висока твърдост и устойчивост на износване: Съпротивлявайте се на ерозията на частиците и механичното износване, удължете експлоатационния живот.
- Висока топлинна проводимост и нисък коефициент на термично разширение: Бърза проводимост на топлинната и размеряната стабилност, намаляване на деформацията или напукване, причинено от термичен стрес.

Параметър на продукта:

Параметър на силициев карбид керамична тава:

(Материална собственост)		(Единица)	(SSIC)
(SIC съдържание)		(WT)%	> 99
(Среден размер на зърното)		Микрон	4-10
(Плътност)		kg/dm3	> 3.14
(Очевидна порьозност)		VO1%	<0.5
(Твърдост на Викерс)	HV 0,5	GPA	28
() Силата на гъвкавост (три точки)	20ºC	MPA	450
(Якост на натиск)	20ºC	MPA	3900
(Еластичен модул)	20ºC	GPA	420
(Издръжливост на счупване)		MPA/M '%	3.5
(Термична проводимост)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Съпротивление)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Коефициент на термично разширение)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Максимална работна температура)		OºC	1700

Параметър на силициев карбид керамична тръба:

Елементи	Индекс
α-SIC	99% мин
Очевидна порьозност	16% макс
Насипна плътност	2.7g/cm3 мин
Якост на огъване при висока температура	100 MPa мин
Коефициент на термично разширение	K -1 4.7x10 -6
Коефициент на топлопроводимост (1400 ° C)	24 w/mk
Макс. Работна температура	1650ºC

Основни приложения:

1. Селиконова карбидна керамична плоча
- Рязане и полиране на вафли: Служи като платформа за лагер, за да се осигури висока точност и стабилност по време на рязане и полиране.
- Литографски процес: Вафлата е фиксирана в литографската машина, за да се осигури високо прецизно позициониране по време на експозиция.
- Химическо механично полиране (CMP): действа като платформа за поддържане на подложки за полиране, осигурявайки равномерно налягане и разпределение на топлина.
2. Силиконов карбиден керамичен тръба
- Високотемпературна пещна тръба: Използва се за оборудване с висока температура, като дифузионна пещ и окислителна пещ за пренасяне на вафли за обработка на високотемпературни процеси.
- CVD/PVD процес: Като лагерна епруветка в реакционната камера, устойчив на високи температури и корозивни газове.
- Аксесоари за полупроводниково оборудване: За топлообменници, газопроводи и др., За да се подобри ефективността на термичното управление на оборудването.
XKH предлага пълна гама от персонализирани услуги за керамични тави от силициев карбид, смукателни чаши и керамични тръби от силициев карбид. Силиконов карбид керамични тави и смукателни чаши, XKH може да бъде персонализиран според изискванията на клиента с различни размери, форми и грапавост на повърхността и да поддържат обработка със специално покритие, да подобрят устойчивостта на износване и устойчивост на корозия; За керамичните тръби от силициев карбид, XKH може да персонализира разнообразен вътрешен диаметър, външен диаметър, дължина и сложна структура (като оформена тръба или пореста тръба) и осигурява полиране, антиокситивно покритие и други процеси на обработка на повърхността. XKH гарантира, че клиентите могат да се възползват изцяло от ползите от производителността на керамичните продукти на силициев карбид, за да отговорят на взискателните изисквания на производствените полета от висок клас като полупроводници, светодиоди и фотоволтаици.