Силициево-карбидна керамична тава смукател Силициево-карбидна керамична тръба доставка високотемпературно синтероване по поръчка обработка
Основни характеристики:
1. Керамична тава от силициев карбид
- Висока твърдост и износоустойчивост: твърдостта е близка до тази на диаманта и може да издържи на механично износване при обработка на пластини за дълго време.
- Висока топлопроводимост и нисък коефициент на термично разширение: бързо разсейване на топлината и размерна стабилност, избягвайки деформация, причинена от термично напрежение.
- Висока плоскост и повърхностна обработка: Плоскостта на повърхността е до микронно ниво, което осигурява пълен контакт между пластината и диска, намалявайки замърсяването и повредите.
Химична стабилност: Силна устойчивост на корозия, подходяща за мокро почистване и ецване в производството на полупроводници.
2. Керамична тръба от силициев карбид
- Устойчивост на висока температура: Може да работи във високотемпературна среда над 1600°C за дълго време, подходящ за полупроводникови високотемпературни процеси.
Отлична устойчивост на корозия: устойчив на киселини, основи и различни химически разтворители, подходящ за тежки технологични среди.
- Висока твърдост и износоустойчивост: устояват на ерозия от частици и механично износване, удължават експлоатационния живот.
- Висока топлопроводимост и нисък коефициент на термично разширение: бързо провеждане на топлина и размерна стабилност, намалявайки деформацията или напукването, причинени от термично напрежение.
Параметър на продукта:
Параметър на силициево-карбидна керамична тава:
| (Материална собственост) | (Единица) | (sic) | |
| (съдържание на SiC) | (Тегл.)% | >99 | |
| (Среден размер на зърната) | микрон | 4-10 | |
| (Плътност) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Видима порьозност) | Vo1% | <0,5 | |
| (Твърдост по Викерс) | ВН 0.5 | Среден успех | 28 |
| *() Якост на огъване* (три точки) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Якост на натиск) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Модул на еластичност) | 20ºC | Среден успех | 420 |
| (Жилавост на счупване) | MPa/m⁻⁹% | 3.5 | |
| (Топлопроводимост) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Съпротивление) | 20°C | Ом.см | 106-108 |
(Коефициент на термично разширение) | a(RT**...80ºC) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Максимална работна температура) | °C | 1700 г. | |
Параметър на силициево-карбидната керамична тръба:
| Елементи | Индекс |
| α-SIC | 99% мин. |
| Видима порьозност | 16% максимум |
| Обемна плътност | 2,7 г/см3 мин |
| Якост на огъване при висока температура | 100 Mpa мин. |
| Коефициент на термично разширение | К-1 4.7x10 -6 |
| Коефициент на топлопроводимост (1400ºC) | 24 W/mk |
| Максимална работна температура | 1650ºC |
Основни приложения:
1. Керамична плоча от силициев карбид
- Рязане и полиране на пластини: служи като лагерна платформа, за да осигури висока прецизност и стабилност по време на рязане и полиране.
- Литографски процес: Пластината се фиксира в литографската машина, за да се осигури високо прецизно позициониране по време на експозиция.
- Химико-механично полиране (ХМП): действа като опорна платформа за полиращи подложки, осигурявайки равномерно разпределение на налягането и топлината.
2. Керамична тръба от силициев карбид
- Тръба за високотемпературна пещ: използва се за високотемпературно оборудване, като дифузионна пещ и окислителна пещ, за пренасяне на пластини за високотемпературна обработка.
- CVD/PVD процес: Като носеща тръба в реакционната камера, устойчива на високи температури и корозивни газове.
- Аксесоари за полупроводниково оборудване: за топлообменници, газопроводи и др., за подобряване на ефективността на управление на топлината на оборудването.
XKH предлага пълна гама от персонализирани услуги за силициево-карбидни керамични тави, вендузи и силициево-карбидни керамични тръби. Силициево-карбидните керамични тави и вендузи, XKH, могат да бъдат персонализирани според изискванията на клиента с различни размери, форми и грапавост на повърхността, и поддържат специално покритие, подобряват износоустойчивостта и устойчивостта на корозия; За силициево-карбидни керамични тръби, XKH може да персонализира различни вътрешни диаметъри, външни диаметъри, дължини и сложни структури (като профилна тръба или пореста тръба), и да осигури полиране, антиокислително покритие и други процеси на повърхностна обработка. XKH гарантира, че клиентите могат да се възползват максимално от предимствата на производителността на силициево-карбидните керамични продукти, за да отговорят на високите изисквания на висок клас производствени области като полупроводници, светодиоди и фотоволтаици.
Подробна диаграма
