Конзолна гребло от силициев карбид (SiC конзолна гребло)

Кратко описание:

Изпратете ни имейл

Характеристики

Подробна диаграма

Преглед на продукта

Конзолната лопатка от силициев карбид, изработена от високоефективен реакционно свързан силициев карбид (RBSiC), е критичен компонент, използван в системите за зареждане и обработка на пластини за полупроводникови и фотоволтаични приложения.
В сравнение с традиционните кварцови или графитни лопатки, конзолните SiC лопатки предлагат превъзходна механична якост, висока твърдост, ниско термично разширение и изключителна устойчивост на корозия. Те поддържат отлична структурна стабилност при високи температури, отговаряйки на строгите изисквания за големи размери на пластините, удължен експлоатационен живот и ултраниско замърсяване.

С непрекъснатото развитие на полупроводниковите процеси към по-големи диаметри на пластините, по-висока производителност и по-чисти среди за обработка, конзолните лопатки от SiC постепенно изместиха конвенционалните материали, превръщайки се в предпочитан избор за дифузионни пещи, LPCVD и свързано с тях високотемпературно оборудване.

Характеристики на продукта

Отлична стабилност при високи температури
- Работи надеждно при 1000–1300℃ без деформация.
- Максимална работна температура до 1380℃.
Висока товароносимост
- Якост на огъване до 250–280 MPa, много по-висока от тази на кварцовите лопатки.
- Способен за работа с пластини с голям диаметър (300 мм и повече).
Удължен експлоатационен живот и ниска поддръжка
- Нисък коефициент на термично разширение (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), добре съчетаван с LPCVD покривни материали.
- Намалява пукнатините и лющенето, причинени от напрежение, като значително удължава циклите на почистване и поддръжка.
Устойчивост на корозия и чистота
- Отлична устойчивост на киселини и основи.
- Плътна микроструктура с отворена порьозност <0,1%, минимизираща генерирането на частици и отделянето на примеси.
Съвместим с автоматизация дизайн
- Стабилна геометрия на напречното сечение с висока размерна точност.
- Безпроблемно се интегрира с роботизирани системи за зареждане и разтоварване на пластини, което позволява напълно автоматизирано производство.

Физични и химични свойства

Елемент	Единица	Данни
Максимална работна температура	℃	1380 г.
Плътност	г/см³	3.04 – 3.08
Отворена порьозност	%	< 0,1
Якост на огъване	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Модул на еластичност	Среден успех	330 (20℃), 300 (1200℃)
Топлопроводимост	W/m·K	45 (1200℃)
Коефициент на термично разширение	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Твърдост по Викерс	HV2	≥ 2100
Устойчивост на киселини/алкали	-	Отлично

Стандартни дължини:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Предлагат се персонализирани размери при поискване

Приложения

Полупроводникова промишленост
- LPCVD (Химическо отлагане от пари при ниско налягане)
- Дифузионни процеси (фосфор, бор и др.)
- Термично окисление
Фотоволтаична индустрия
- Дифузия и покритие на полисилициеви и монокристални пластини
- Високотемпературно отгряване и пасивация
Други полета
- Високотемпературни корозивни среди
- Прецизни системи за работа с пластини, изискващи дълъг експлоатационен живот и ниско замърсяване

Предимства за клиентите

Намалени оперативни разходи– По-дълъг живот в сравнение с кварцовите лопатки, което минимизира времето за престой и честотата на подмяна.
По-висок добив– Изключително ниското замърсяване осигурява чистота на повърхността на пластините и намалява процента на дефекти.
Готов за бъдещето– Съвместим с големи размери на пластините и полупроводникови процеси от следващо поколение.
Подобрена производителност– Напълно съвместим с роботизирани автоматизирани системи, поддържащи производство с голям обем.

ЧЗВ – Конзолна гребло от силициев карбид

В1: Какво представлява конзолната гребла от силициев карбид?
A: Това е компонент за поддръжка и обработка на пластини, изработен от реакционно свързан силициев карбид (RBSiC). Той се използва широко в дифузионни пещи, LPCVD и други високотемпературни полупроводникови и фотоволтаични процеси.

В2: Защо да избера SiC пред кварцови лопатки?
A: В сравнение с кварцовите гребла, SiC греблата предлагат:

По-висока механична якост и товароносимост
По-добра термична стабилност при температури до 1380℃
Много по-дълъг експлоатационен живот и намалени цикли на поддръжка
По-нисък риск от генериране на частици и замърсяване
Съвместимост с по-големи размери на пластините (300 мм и повече)

В3: Какви размери на пластините може да поддържа конзолната лопатка SiC?
A: Предлагат се стандартни лопатки за пещни системи с размери 2378 мм, 2550 мм и 2660 мм. Предлагат се и персонализирани размери за поддръжка на пластини до 300 мм и повече.

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.