SiC субстрат P-тип 4H/6H-P 3C-N 4 инча с дебелина 350um Производствен клас Фиктивен клас

Кратко описание:

P-тип 4H/6H-P 3C-N 4-инчов SiC субстрат с дебелина 350 μm е високоефективен полупроводников материал, широко използван в производството на електронни устройства. Известен със своята изключителна топлопроводимост, високо напрежение на пробив и устойчивост на екстремни температури и корозивни среди, този субстрат е идеален за приложения в силова електроника. Производственият субстрат се използва в широкомащабно производство, осигурявайки строг контрол на качеството и висока надеждност в съвременните електронни устройства. Междувременно субстратът с фиктивен клас се използва предимно за отстраняване на грешки в процеса, калибриране на оборудването и създаване на прототипи. Превъзходните свойства на SiC го правят отличен избор за устройства, работещи в среда с висока температура, високо напрежение и висока честота, включително захранващи устройства и RF системи.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

4-инчов SiC субстрат P-тип 4H/6H-P 3C-N таблица с параметри

4 инчов диаметър СиликонКарбидна (SiC) подложка Спецификация

Степен Нулево MPD производство

Степен (Z клас)

Стандартно производство

Степен (P клас)

 

Фиктивна оценка (D клас)

Диаметър 99,5 mm~100,0 mm
Дебелина 350 μm ± 25 μm
Ориентация на вафли Извън оста: 2,0°-4,0° към [112(-)0] ± 0,5° за 4H/6H-P, On ос:〈111〉± 0,5° за 3C-N
Плътност на микротръбата 0 cm-2
Съпротивление p-тип 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-тип 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Основна плоска ориентация 4H/6H-P -

{1010} ± 5,0°

3C-N -

{110} ± 5,0°

Първична плоска дължина 32,5 mm ± 2,0 mm
Вторична плоска дължина 18,0 мм ± 2,0 мм
Вторична плоска ориентация Силикон с лицето нагоре: 90° CW. от Prime flat±5.0°
Изключване на ръба 3 мм 6 мм
LTV/TTV/Лък/Изкривяване ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Грапавост Полски Ra≤1 nm
CMP Ra≤0,2 nm Ra≤0,5 nm
Пукнатини по ръбовете от светлина с висок интензитет Няма Кумулативна дължина ≤ 10 mm, единична дължина ≤ 2 mm
Шестоъгълни плочи чрез светлина с висок интензитет Кумулативна площ ≤0,05% Кумулативна площ ≤0,1%
Политипни зони чрез светлина с висок интензитет Няма Кумулативна площ≤3%
Визуални въглеродни включвания Кумулативна площ ≤0,05% Кумулативна площ ≤3%
Силиконови повърхностни драскотини от светлина с висок интензитет Няма Кумулативна дължина≤1×диаметър на пластина
Edge Chips High By Intensity Light Няма разрешени ≥0,2 mm ширина и дълбочина 5 разрешени, ≤1 mm всеки
Силициево повърхностно замърсяване с висок интензитет Няма
Опаковка Касета с множество вафли или контейнер за единични вафли

Бележки:

※Ограниченията за дефекти се прилагат за цялата повърхност на вафлата, с изключение на зоната за изключване на ръбовете. # Драскотините трябва да се проверяват само върху лицето Si.

P-тип 4H/6H-P 3C-N 4-инчов SiC субстрат с дебелина 350 μm се прилага широко в производството на усъвършенствани електронни и захранващи устройства. С отлична топлопроводимост, високо напрежение на пробив и силна устойчивост на екстремни среди, този субстрат е идеален за високопроизводителна силова електроника като превключватели за високо напрежение, инвертори и RF устройства. Производствените субстрати се използват в широкомащабно производство, осигурявайки надеждна, високопрецизна производителност на устройството, което е критично за силова електроника и високочестотни приложения. Субстратите от фиктивен клас, от друга страна, се използват главно за калибриране на процеси, тестване на оборудване и разработване на прототипи, като помагат за поддържане на качествен контрол и последователност на процесите в производството на полупроводници.

Спецификация. Предимствата на N-тип SiC композитни субстрати включват

  • Висока топлопроводимост: Ефективното разсейване на топлината прави субстрата идеален за приложения с висока температура и висока мощност.
  • Високо напрежение на пробив: Поддържа работа при високо напрежение, осигурявайки надеждност в силова електроника и RF устройства.
  • Устойчивост на тежки среди: Издръжлив при екстремни условия като високи температури и корозивни среди, осигурявайки дълготрайна работа.
  • Прецизност от производствен клас: Осигурява висококачествена и надеждна производителност в широкомащабно производство, подходящо за усъвършенствани захранващи и радиочестотни приложения.
  • Фиктивна оценка за тестване: Позволява точно калибриране на процеса, тестване на оборудване и създаване на прототипи, без да се правят компромиси с пластини от производствен клас.

 Като цяло, P-тип 4H/6H-P 3C-N 4-инчов SiC субстрат с дебелина 350 μm предлага значителни предимства за високопроизводителни електронни приложения. Неговата висока топлопроводимост и пробивно напрежение го правят идеален за среда с висока мощност и висока температура, докато устойчивостта му на тежки условия гарантира издръжливост и надеждност. Производственият субстрат осигурява прецизна и постоянна производителност при широкомащабно производство на силова електроника и радиочестотни устройства. Междувременно фиктивният субстрат е от съществено значение за калибриране на процеса, тестване на оборудване и създаване на прототипи, поддържайки контрол на качеството и последователност в производството на полупроводници. Тези характеристики правят SiC субстратите много гъвкави за разширени приложения.

Подробна диаграма

b3
б4

  • Предишен:
  • следващ:

  • Напишете вашето съобщение тук и ни го изпратете