SiC керамично вилково рамо / краен ефектор – усъвършенствана прецизна обработка за производство на полупроводници

Кратко описание:

Керамичното вилково рамо SiC, често наричано керамичен краен ефектор, е високопроизводителен компонент за прецизна обработка, специално разработен за транспортиране, подравняване и позициониране на пластини във високотехнологични индустрии, особено в производството на полупроводници и фотоволтаици. Изработен от високочиста силициево-карбидна керамика, този компонент съчетава изключителна механична якост, ултраниско термично разширение и превъзходна устойчивост на термичен удар и корозия.

Изпратете ни имейл

Характеристики

Подробна диаграма

Преглед на продукта

За разлика от традиционните крайни ефектори, изработени от алуминий, неръждаема стомана или дори кварц, керамичните крайни ефектори от SiC предлагат несравнима производителност във вакуумни камери, чисти помещения и тежки условия на обработка, което ги прави ключова част от роботите за работа с пластини от следващо поколение. С нарастващото търсене на производство без замърсяване и по-строги толеранси в производството на чипове, използването на керамични крайни ефектори бързо се превръща в индустриален стандарт.

Принцип на производство

Изработването наSiC керамични крайни ефекторивключва серия от високопрецизни, високочисти процеси, които осигуряват както производителност, така и дълготрайност. Обикновено се използват два основни процеса:

Реакционно свързан силициев карбид (RB-SiC)

В този процес, заготовка, изработена от силициев карбид на прах и свързващо вещество, се инфилтрира с разтопен силиций при високи температури (~1500°C), който реагира с остатъчния въглерод, за да образува плътен, твърд SiC-Si композит. Този метод предлага отличен контрол на размерите и е рентабилен за мащабно производство.

Безнапорен синтерован силициев карбид (SSiC)

SSiC се произвежда чрез синтероване на ултрафин, високочист SiC прах при изключително високи температури (>2000°C) без използване на добавки или свързваща фаза. Това води до продукт с почти 100% плътност и най-високите механични и термични свойства, достъпни сред SiC материалите. Той е идеален за ултракритични приложения за работа с пластини.

Последваща обработка

Прецизна CNC обработкаПостига висока плоскост и паралелизъм.
Повърхностна обработкаДиамантеното полиране намалява грапавостта на повърхността до <0,02 µm.
ИнспекцияЗа проверка на всяка част се използват оптична интерферометрия, CMM и безразрушителен контрол.

Тези стъпки гарантират, чеSiC краен ефекторосигурява постоянна точност на поставяне на пластините, отлична равнинност и минимално генериране на частици.

Основни характеристики и предимства

Функция	Описание
Ултрависока твърдост	Твърдост по Викерс > 2500 HV, устойчива на износване и нащърбване.
Ниско термично разширение	КТР ~4,5×10⁻⁶/K, което позволява размерна стабилност при термично циклиране.
Химическа инертност	Устойчив на HF, HCl, плазмени газове и други корозивни агенти.
Отлична устойчивост на термичен удар	Подходящ за бързо нагряване/охлаждане във вакуумни и пещни системи.
Висока твърдост и здравина	Поддържа дълги конзолни вилични рамена без отклонение.
Ниско отделяне на газове	Идеален за среди с ултрависок вакуум (UHV).
Готов за чисти помещения по ISO клас 1	Работата без частици осигурява целостта на пластината.

Приложения

Керамичното вилково рамо/краен ефектор от SiC се използва широко в индустрии, които изискват изключителна прецизност, чистота и химическа устойчивост. Ключови сценарии на приложение включват:

Производство на полупроводници

Зареждане/изваждане на пластини при системи за отлагане (CVD, PVD), ецване (RIE, DRIE) и почистване.
Роботизирано транспортиране на пластини между FOUP-ове, касети и технологични инструменти.
Обработка при висока температура по време на термична обработка или отгряване.

Производство на фотоволтаични клетки

Деликатно транспортиране на крехки силициеви пластини или слънчеви субстрати в автоматизирани линии.

Индустрия за плоски дисплеи (FPD)

Преместване на големи стъклени панели или подложки в производствени среди на OLED/LCD.

Сложни полупроводници / MEMS

Използва се в производствени линии за GaN, SiC и MEMS, където контролът на замърсяването и точността на позициониране са от решаващо значение.

Ролята му като краен ефектор е особено важна за осигуряване на бездефектно и стабилно боравене по време на чувствителни операции.

Възможности за персонализиране

Предлагаме широка гама от персонализирани решения, за да отговорим на различни изисквания за оборудване и процеси:

Дизайн на вилицатаДвукраки, многопръстови или разделени на нива оформления.
Съвместимост на размера на пластинатаОт 2” до 12” пластини.
Монтажни интерфейсиСъвместим с OEM роботизирани ръце.
Допустими отклонения в дебелината и повърхносттаПредлагат се плоскост на микронно ниво и заобляне на ръбовете.
Противоплъзгащи функцииДопълнителни повърхностни текстури или покрития за сигурно захващане на пластината.

Всекикерамичен краен ефекторе проектиран съвместно с клиентите, за да се осигури прецизно напасване с минимални промени в инструментите.

Често задавани въпроси (ЧЗВ)

В1: По какво SiC е по-добър от кварца за приложение в краен ефектор?
А1:Въпреки че кварцът се използва често заради чистотата си, той не е механично здрав и е склонен към счупване при натоварване или температурен шок. SiC предлага превъзходна якост, износоустойчивост и термична стабилност, което значително намалява риска от престой и повреда на пластината.

В2: Съвместима ли е тази керамична вилка с всички роботизирани манипулатори на пластини?
А2:Да, нашите керамични крайни ефектори са съвместими с повечето основни системи за обработка на пластини и могат да бъдат адаптирани към вашите специфични роботизирани модели с прецизни инженерни чертежи.

В3: Може ли да обработва пластини с размер 300 мм без деформация?
А3:Абсолютно. Високата твърдост на SiC позволява дори тънки, дълги рамена на вилиците да държат сигурно 300 мм пластини, без да се провисват или отклоняват по време на движение.

Въпрос 4: Какъв е типичният експлоатационен живот на краен ефектор от SiC керамика?
А4:При правилна употреба, крайният ефектор от SiC може да издържи 5 до 10 пъти по-дълго от традиционните кварцови или алуминиеви модели, благодарение на отличната си устойчивост на термично и механично натоварване.

В5: Предлагате ли заместители или услуги за бързо прототипиране?
А5:Да, ние поддържаме бързо производство на мостри и предлагаме услуги за подмяна, базирани на CAD чертежи или обратно проектирани части от съществуващо оборудване.

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.