SiC керамично рамо за пренасяне на пластини

Кратко описание:

LiNbO₃ пластините представляват златния стандарт в интегрираната фотоника и прецизната акустика, осигурявайки несравнима производителност в съвременните оптоелектронни системи. Като водещ производител, ние усъвършенствахме изкуството да произвеждаме тези инженерни субстрати чрез усъвършенствани техники за уравновесяване на паротранспорта, постигайки водещо в индустрията кристално съвършенство с плътност на дефектите под 50/cm².

Производствените възможности на XKH обхващат диаметри от 75 мм до 150 мм, с прецизен контрол на ориентацията (X/Y/Z-разрез ±0,3°) и специализирани опции за легиране, включително редкоземни елементи. Уникалната комбинация от свойства на LiNbO₃ пластините – включително техния забележителен коефициент r₃₃ (32±2 pm/V) и широка прозрачност от близката UV до средната IR област – ги прави незаменими за фотонни схеми от следващо поколение и високочестотни акустични устройства.

Изпратете ни имейл

Характеристики

SiC керамичен краен ефектор Резюме

Керамичният краен ефектор SiC (силициев карбид) е критичен компонент във високопрецизните системи за обработка на пластини, използвани в производството на полупроводници и в напреднали микропроизводствени среди. Проектиран да отговаря на високите изисквания за ултрачисти, високотемпературни и изключително стабилни среди, този специализиран краен ефектор осигурява надеждно и без замърсяване транспортиране на пластини по време на ключови производствени етапи като литография, ецване и отлагане.

Възползвайки се от превъзходните свойства на силициевия карбид – като висока топлопроводимост, изключителна твърдост, отлична химическа инертност и минимално термично разширение – керамичният краен ефектор SiC предлага несравнима механична твърдост и размерна стабилност дори при бързи термични цикли или в корозивни технологични камери. Характеристиките му за ниско генериране на частици и устойчивост на плазма го правят особено подходящ за приложения в чисти помещения и вакуумна обработка, където поддържането на целостта на повърхността на пластините и намаляването на замърсяването с частици са от първостепенно значение.

Приложение на SiC керамичен краен ефектор

1. Работа с полупроводникови пластини

Керамичните крайни ефектори SiC се използват широко в полупроводниковата индустрия за обработка на силициеви пластини по време на автоматизирано производство. Тези крайни ефектори обикновено се монтират на роботизирани рамена или вакуумни трансферни системи и са проектирани да поемат пластини с различни размери, като например 200 мм и 300 мм. Те са от съществено значение в процеси, включително химическо отлагане от пари (CVD), физическо отлагане от пари (PVD), ецване и дифузия – където високите температури, вакуумните условия и корозивните газове са често срещани. Изключителната термична устойчивост и химическа стабилност на SiC го правят идеален материал, който издържа на такива сурови среди без деградация.

2. Съвместимост с чисти помещения и вакуум

В чисти помещения и вакуумни условия, където замърсяването с частици трябва да бъде сведено до минимум, SiC керамиката предлага значителни предимства. Плътната, гладка повърхност на материала е устойчива на образуване на частици, което спомага за поддържане на целостта на пластините по време на транспортиране. Това прави SiC крайните ефектори особено подходящи за критични процеси като екстремна ултравиолетова литография (EUV) и атомно-слоево отлагане (ALD), където чистотата е от решаващо значение. Освен това, ниското отделяне на газове и високата плазмена устойчивост на SiC осигуряват надеждна работа във вакуумни камери, удължавайки живота на инструментите и намалявайки честотата на поддръжка.

3. Високопрецизни системи за позициониране

Прецизността и стабилността са жизненоважни в усъвършенстваните системи за работа с пластини, особено в метрологичното, инспекционното и центровъчното оборудване. SiC керамиката има изключително нисък коефициент на термично разширение и висока твърдост, което позволява на крайния ефектор да запази структурната си точност дори при термични цикли или механично натоварване. Това гарантира, че пластините остават прецизно подравнени по време на транспортиране, минимизирайки риска от микродраскотини, несъответствие или грешки в измерването – фактори, които са все по-критични при технологични възли с под 5nm технология.

Свойства на SiC керамичния краен ефектор

1. Висока механична якост и твърдост

SiC керамиката притежава изключителна механична якост, с якост на огъване често надвишаваща 400 MPa и стойности на твърдост по Викерс над 2000 HV. Това я прави изключително устойчива на механично натоварване, удар и износване, дори след продължителна експлоатационна употреба. Високата твърдост на SiC също така минимизира отклонението по време на високоскоростно преместване на пластини, осигурявайки точно и повтаряемо позициониране.

2. Отлична термична стабилност

Едно от най-ценните свойства на SiC керамиката е способността ѝ да издържа на изключително високи температури – често до 1600°C в инертни атмосфери – без да губи механична цялост. Ниският ѝ коефициент на термично разширение (~4,0 x 10⁻⁶ /K) осигурява размерна стабилност при термични цикли, което я прави идеална за приложения като CVD, PVD и високотемпературно отгряване.

Въпроси и отговори за крайния ефектор SiC керамика

Въпрос: Какъв материал се използва в крайния ефектор на пластината?

А：Крайните ефектори за пластини обикновено се изработват от материали, които предлагат висока якост, термична стабилност и ниско генериране на частици. Сред тях, силициево-карбидната (SiC) керамика е един от най-модерните и предпочитани материали. SiC керамиката е изключително твърда, термично стабилна, химически инертна и устойчива на износване, което я прави идеална за работа с деликатни силициеви пластини в чисти помещения и вакуумни среди. В сравнение с кварца или покрити метали, SiC предлага превъзходна размерна стабилност при високи температури и не отделя частици, което помага за предотвратяване на замърсяване.