SIC керамичен патронник за керамични чаши прецизна обработка на персонализиране

SIC керамична тава за патрон керамични смукателни чаши Прецизна обработка Персонализирано изображение

Кратко описание:

Silicon Carbide Ceramic Tary Sucker е идеален избор за производство на полупроводници поради високата си твърдост, високата топлопроводимост и отличната химическа стабилност. Високата му плоскост и повърхностно покритие гарантират пълен контакт между вафлата и смукача, намалявайки замърсяването и увреждането; Високата температура и устойчивост на корозия го правят подходящ за сурови процеси; В същото време лекият дизайн и дългите житейски характеристики намаляват разходите за производство и са незаменими ключови компоненти при рязане на вафли, полиране, литография и други процеси.

Изпратете имейл до нас

Детайл на продукта

Етикети на продукта

Материални характеристики:

1. Висока твърдост: Твърдостта на MOHS на силициевия карбид е 9,2-9,5, втори само за диамант, със силна устойчивост на износване.
2. Висока топлопроводимост: Термичната проводимост на силициевия карбид е до 120-200 W/m · K, която може бързо да разсее топлината и е подходяща за високотемпературна среда.
3. Коефициентът на ниско термично разширяване: Коефициентът на термично разширяване на силициевия карбид е нисък (4.0-4.5 × 10⁻⁶/k), все още може да поддържа стабилността на размерите при висока температура.
4. Химическа стабилност: Киселина на силициевата карбид и алкалната корозионна устойчивост, подходяща за използване в химическа корозивна среда.
5. Висока механична якост: Силициевият карбид има висока якост на огъване и якост на натиск и може да издържи на голямо механично напрежение.

Характеристики:

1. В полупроводниковата индустрия, изключително тънки вафли трябва да се поставят на вакуумна засмукване, вакуумното засмукване се използва за фиксиране на вафли и процесът на кола маска, изтъняване, кола маска, почистване и рязане се извършва върху вафрите.
2.Силикон карбид смукател има добра топлопроводимост, може ефективно да съкрати времето за кола маска и кола маска, да подобри ефективността на производството.
3.Силикон карбиден вакуум смукател също има добра киселина и алкална корозионна устойчивост.
4.Подрязани с традиционната табела за носещ корунд, съкращават времето за натоварване и разтоварване на отоплението и охлаждането, подобряват ефективността на работната работа; В същото време той може да намали износването между горната и долната плоча, да поддържа добра точност на равнината и да удължи живота на експлоатацията с около 40%.
5. Пропорцията на материала е малка, леко тегло. По -лесно е операторите да носят палети, като намаляват риска от щети от сблъсък, причинени от затруднения с транспорта с около 20%.
6. Размер: Максимален диаметър 640 мм; Плоскост: 3um или по -малко

Поле за кандидатстване:

1. Производство на полупроводници
● Обработка на вафли:
За фиксиране на вафли във фотолитографията, офорт, отлагане на тънък филм и други процеси, осигуряване на висока точност и консистенция на процеса. Неговата висока температура и устойчивост на корозия са подходящи за сурови среди за производство на полупроводници.
● Епитаксиален растеж:
При епитаксиалния растеж на SIC или GAN, като носител за отопление и фиксиране на вафли, осигурявайки температурна равномерност и качество на кристалите при високи температури, подобряване на работата на устройството.
2. Фотоелектрическо оборудване
● LED производство:
Използва се за фиксиране на сапфир или SIC субстрат и като отоплителен носител в процеса на MOCVD, за да се гарантира еднаквостта на епитаксиалния растеж, подобряване на LED светещата ефективност и качество.
● Лазерен диод:
Като високо прецизно приспособление, фиксиращ и отоплителен субстрат, за да се гарантира стабилността на температурата на процеса, подобрете изходната мощност и надеждността на лазерния диод.
3. Прецизна обработка
● Оптична обработка на компоненти:
Използва се за фиксиране на прецизни компоненти като оптични лещи и филтри, за да се осигури висока точност и ниско замърсяване по време на обработката и е подходящ за обработка с висока интензивност.
● Керамична обработка:
Като приспособление за висока стабилност, той е подходящ за прецизна обработка на керамични материали, за да се гарантира точността и консистенцията на обработката при висока температура и корозивна среда.
4. Научни експерименти
● Експеримент с висока температура:
Като устройство за фиксиране на проби във високотемпературна среда, то поддържа екстремни температурни експерименти над 1600 ° C, за да се гарантира равномерността на температурата и стабилността на пробата.
● Вакуумният тест:
Като носител на фиксиране и отопление на пробата във вакуумна среда, за да се гарантира точността и повторяемостта на експеримента, подходящ за вакуумно покритие и топлинна обработка.

Технически спецификации:

(Материална собственост)		(Единица)	(SSIC)
(SIC съдържание)		(WT)%	> 99
(Среден размер на зърното)		Микрон	4-10
(Плътност)		kg/dm3	> 3.14
(Очевидна порьозност)		VO1%	<0.5
(Твърдост на Викерс)	HV 0,5	GPA	28
(Сила на огъване) (три точки)	20ºC	MPA	450
(Якост на натиск)	20ºC	MPA	3900
(Еластичен модул)	20ºC	GPA	420
(Издръжливост на счупване)		MPA/M '%	3.5
(Термична проводимост)	20 ° ºC	*W/(mk)**	160
(Съпротивление)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Коефициент на термично разширение)	A (RT ... 80ºC)**	*K-110-6**	4.3
(Максимална работна температура)		OºC	1700

С години на техническо натрупване и опит в индустрията, XKH е в състояние да приспособи ключовите параметри като размера, метода на отопление и вакуумния адсорбция на патронника според специфичните нужди на клиента, като гарантира, че продуктът е перфектно адаптиран към процеса на клиента. Ceramic Ceramic Ceramic Ceramic Ceramic Chucks са станали незаменими компоненти в обработката на вафли, епитаксиален растеж и други ключови процеси поради тяхната отлична топлинна проводимост, висока температурна стабилност и химическа стабилност. Особено при производството на полупроводникови материали от трето поколение като SIC и GAN, търсенето на керамични патрони от силициев карбид продължава да расте. В бъдеще, с бързото развитие на 5G, електрически превозни средства, изкуствен интелект и други технологии, перспективите на приложението на силициев карбид керамични патрони в полупроводниковата индустрия ще бъдат по -широки.