Вафла от кварцово стъкло JGS1 JGS2 BF33 Вафла 8 инча 12 инча 725 ± 25 um или персонализирана
Спецификация
спец | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Диаметър | 100 мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
Дебелина | 0,10 мм | 0,30 мм | 0,40 мм | 0,50 мм | 0,50 мм |
Първичен апартамент | 32,5 мм | 47,5 мм / 57,5 мм / прорез | прорез | прорез | прорез |
LTV (5mmx5mm) | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
Поклон | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
Деформация | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
Закръгляване на ръбове | Съвместим със стандарт SEMI M1.2/вижте IEC62276 | ||||
Тип повърхност | Едностранно полирани / Двустранно полирани | ||||
Полирана страна Ra | Ra≤1nm | ||||
Критерии за задната страна | Ra 0.2-0.7um или персонализирани |
Вафла от кварцово стъкло JGS1 JGS2 BF33 Таблица с параметри на вафла
Приложение
Кварцовите стъклени пластини, направени от JGS1, JGS2 и BF33, се използват широко в различни индустрии с висока точност. Тези пластини са идеални за производство на полупроводници, включително субстрати за фотомаска и оптика на ниво пластина. Те също са подходящи за оптични компоненти, лазери и сензори в индустрии като телекомуникации, космическо пространство и медицински устройства. Тяхната висока термична стабилност и устойчивост на термичен шок ги прави идеални за екстремни температурни среди, докато тяхната изключителна пропускливост е от решаващо значение за ултравиолетовата (UV) и инфрачервената (IR) оптика.
Свойства
Видове материали:
JGS1: Висока UV пропускливост, отлична за приложения с ултравиолетова светлина.
JGS2: Балансирана пропускливост в UV, видими и инфрачервени диапазони, подходяща за обща оптична употреба.
BF33: Боросиликатно стъкло с висока химическа устойчивост и термична издръжливост. Опции за размер:
Предлага се в стандартни размери от 8-инчови и 12-инчови вафли.
Персонализирани размери могат да бъдат произведени въз основа на специфични изисквания. Дебелина:
Стандартната дебелина е 725 ± 25 μm.
Налична персонализирана дебелина за посрещане на различни индустриални нужди.
Топлинни свойства:
Отлична термична стабилност, подходяща за използване в среда с висока температура.
Висока устойчивост на термичен шок.
Химическа устойчивост:
Силна устойчивост на корозия от киселини, основи и повечето химикали, особено в BF33.
Оптични свойства:
Пластините JGS1 и JGS2 предлагат висока оптична пропускливост в ултравиолетови (UV), видими и инфрачервени (IR) диапазони.
Идеален за прецизни оптични компоненти, фотоника и лазерни приложения.
Качество на повърхността:
Висока плоскост и гладкост на повърхността, осигуряващи прецизност при производството на полупроводници и оптични устройства.
Тези свойства правят пластините JGS1, JGS2 и BF33 универсални и надеждни за приложения с висока производителност в индустрии като оптика, електроника и полупроводници.
Като цяло
Кварцовите стъклени пластини, направени от JGS1, JGS2 и BF33, предлагат изключителна производителност в различни взискателни приложения. Предлагани в стандартни размери от 8 инча и 12 инча с дебелина 725 ± 25 μm, тези вафли също могат да се персонализират, за да отговорят на специфични изисквания. JGS1 и JGS2 осигуряват висока оптична пропускливост в UV, видими и IR диапазони, докато BF33 предлага отлична химическа устойчивост и термична стабилност. С висока плоскост и гладкост на повърхността, тези пластини са идеални за прецизни индустрии като полупроводници, оптика и фотоника, осигурявайки надеждност и издръжливост в екстремни среди и критични приложения.