Висококачествени сапфирени повдигащи щифтове, монокристален Al₂O₃, повдигащ щифт за пластини
Технически параметри
| Химичен състав | Al2O3 |
| Твърдост | 9 Моос |
| Оптична природа | Едноосен |
| Индекс на пречупване | 1.762-1.770 |
| Двойно пречупване | 0,008-0,010 |
| Дисперсия | Ниско, 0,018 |
| Блясък | Стъкловидно тяло |
| Плеохроизъм | Умерено до силно |
| Диаметър | 0,4 мм-30 мм |
| Толеранс на диаметъра | 0,004 мм-0,05 мм |
| дължина | 2 мм-150 мм |
| толеранс на дължина | 0,03 мм-0,25 мм |
| Качество на повърхността | 40/20 |
| Закръгленост на повърхността | RZ0.05 |
| Персонализирана форма | двата края плоски, единият край редуциран, двата края редуциран, щифтове за седла и специални форми |
Основни характеристики
1. Изключителна твърдост и износоустойчивост: С твърдост по Моос от 9, на второ място след диаманта, сапфирените повдигащи щифтове демонстрират характеристики на износване, които драстично превъзхождат традиционните силициево-карбидни, алуминиево-керамични или метални сплави алтернативи. Тази изключителна твърдост се изразява в значително намалено генериране на частици и изисквания за поддръжка, като експлоатационният живот обикновено е 3-5 пъти по-дълъг от този на конвенционалните материали в сравними приложения.
2. Превъзходна устойчивост на високи температури: Проектирани да издържат на продължителна работа при температури над 1000°C без деградация, сапфирените повдигащи щифтове поддържат размерна стабилност и механична якост при най-взискателните термични процеси. Това ги прави особено ценни за критични приложения като химическо отлагане от пари (CVD), металоорганично химическо отлагане от пари (MOCVD) и системи за високотемпературно отгряване, където несъответствието в термичното разширение може да компрометира добивите на процеса.
3. Химическа инертност: Монокристалната сапфирена структура демонстрира забележителна устойчивост на атаки от HF киселина, химикали на основата на хлор и други агресивни технологични газове, често срещани при производството на полупроводници. Тази химическа стабилност осигурява постоянна производителност в плазмени среди и предотвратява образуването на повърхностни дефекти, които биха могли да доведат до замърсяване на пластината.
4. Ниско замърсяване с частици: Изработени от бездефектни, високочисти сапфирени кристали (обикновено >99,99%), тези повдигащи щифтове показват минимално отделяне на частици дори след продължителна употреба. Тяхната непореста повърхностна структура и полирани покрития отговарят на най-строгите изисквания за чисти помещения, като пряко допринасят за подобрен добив на процеси при производството на усъвършенствани полупроводникови възли.
Високопрецизна обработка: Използвайки усъвършенствани техники за диамантено шлифоване и лазерна обработка, сапфирените повдигащи щифтове могат да бъдат произведени с субмикронни толеранси и повърхностна обработка под 0,05 μm Ra. Могат да бъдат проектирани персонализирани геометрии, включително конусовидни профили, специални конфигурации на върха и интегрирани функции за подравняване, за да се справят със специфичните предизвикателства при работа с пластини в производственото оборудване от следващо поколение.
Основни приложения
1. Производство на полупроводници: Сапфирените повдигащи щифтове играят ключова роля в усъвършенстваните системи за обработка на пластини, осигурявайки надеждна опора и прецизно позициониране по време на фотолитография, ецване, отлагане и инспекция. Тяхната термична и химическа стабилност ги прави особено ценни в инструменти за EUV литография и усъвършенствани приложения за опаковане, където размерната стабилност в нанометрови мащаби е от съществено значение.
2. LED епитаксия (MOCVD): В галиев нитрид (GaN) и подобни епитаксиални системи за растеж на полупроводници, сапфирените повдигащи щифтове осигуряват стабилна опора за пластини при температури, често надвишаващи 1000°C. Техните съответстващи характеристики на термично разширение със сапфирените подложки минимизират изкривяването на пластините и образуването на приплъзване по време на процеса на епитаксиален растеж.
3. Фотоволтаична индустрия: Високоефективното производство на слънчеви клетки се възползва от уникалните свойства на сапфира при високотемпературна дифузия, синтероване и отлагане на тънки филми. Износоустойчивостта на щифтовете е особено ценна в масово производство, където дълготрайността на компонентите влияе пряко върху производствените разходи.
4. Прецизна оптика и обработка на електроника: Освен приложенията в полупроводниците, сапфирените повдигащи щифтове намират приложение и при работа с деликатни оптични компоненти, MEMS устройства и специални субстрати, където обработката без замърсяване и предотвратяването на надраскване са от решаващо значение. Техните електроизолационни свойства ги правят идеални за приложения, включващи електростатично чувствителни устройства.
Услугите на XKH за сапфирени повдигащи щифтове
XKH предоставя цялостна техническа поддръжка и персонализирани решения за сапфирени повдигащи щифтове:
1. Услуги за разработка по поръчка
· Поддръжка за персонализиране на размерите, геометрията и повърхностната обработка
· Препоръки за избор на материали и оптимизиране на техническите параметри
· Съвместно проектиране на продукти и симулационна проверка
2. Възможности за прецизно производство
· Високопрецизна обработка с контролирани допуски в рамките на ±1μm
· Специални обработки, включително огледално полиране и скосяване на ръбове
· Допълнителни решения за модификация на повърхността, като например незалепващи покрития
3. Система за осигуряване на качеството
· Стриктно прилагане на проверка на входящите материали и контрол на процесите
· Пълноразмерна оптична инспекция и анализ на морфологията на повърхността
· Предоставяне на протоколи от тестове за ефективност на продукта
4. Услуги за веригата за доставки
· Бърза доставка на стандартни продукти
· Специализирано управление на инвентара за ключови клиенти
5. Техническа поддръжка
· Консултации за приложни решения
· Бърза следпродажбена реакция
Ние сме ангажирани да предоставяме висококачествени продукти от сапфирени повдигащи щифтове и професионални технически услуги, за да отговорим на строгите изисквания на полупроводниковите, LED и други съвременни индустрии.
