LiTaO3 пластина 2-8 инча 10x10x0.5 мм 1sp 2sp за 5G/6G комуникации
Технически параметри
Име | LiTaO3 с оптичен клас | Ниво на шум в LiTaO3 |
Аксиален | Z-образен разрез +/- 0,2° | 36° Y рязане / 42° Y рязане / X рязане (+ / - 0,2°) |
Диаметър | 76,2 мм + / - 0,3 мм/ 100±0,2 мм | 76,2 мм +/-0,3 мм 100 мм +/-0,3 мм 0 или 150±0,5 мм |
Базова равнина | 22 мм + / - 2 мм | 22 мм +/- 2 мм 32 мм +/- 2 мм |
Дебелина | 500um +/-5mm 1000um +/-5mm | 500um +/-20mm 350um +/-20mm |
ТТВ | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
Температура на Кюри | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA метод) | 605 °C +/-3 °C (DTA метод) |
Качество на повърхността | Двустранно полиране | Двустранно полиране |
Скосени ръбове | заобляне на ръбовете | заобляне на ръбовете |
Ключови характеристики
1. Електрически и оптични характеристики
· Електрооптичен коефициент: r33 достига 30 pm/V (X-cut), 1,5× по-високо от LiNbO3, което позволява ултрашироколентова електрооптична модулация (>40 GHz честотна лента).
· Широкоспектърен обхват: Диапазон на пропускане 0,4–5,0 μm (дебелина 8 mm), с ултравиолетов абсорбционен ръб до 280 nm, идеален за UV лазери и устройства с квантови точки.
· Нисък пироелектричен коефициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), осигуряващ стабилност във високотемпературни инфрачервени сензори.
2. Термични и механични свойства
· Висока топлопроводимост: 4,6 W/m·K (X-cut), четири пъти по-висока от тази на кварца, издържаща на термични цикли от -200 до 500°C.
· Нисък коефициент на термично разширение: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), съвместим със силиконова опаковка за минимизиране на термичното напрежение.
3. Контрол на дефектите и прецизност на обработката
· Плътност на микротръбите: <0,1 cm⁻² (8-инчови пластини), плътност на дислокациите <500 cm⁻² (проверено чрез ецване с KOH).
· Качество на повърхността: CMP-полирана до Ra <0,5 nm, отговаряща на изискванията за плоскост с клас EUV литография.
Ключови приложения
Домейн | Сценарии на приложение | Технически предимства |
Оптични комуникации | 100G/400G DWDM лазери, силициеви фотонни хибридни модули | Широкото спектрално пропускане на пластината LiTaO3 и ниските загуби във вълновода (α <0,1 dB/cm) позволяват разширяване на C-диапазона. |
5G/6G комуникации | SAW филтри (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR филтри | 42°Y-образните пластини постигат Kt² >15%, осигурявайки ниски загуби при вмъкване (<1,5 dB) и висок спад (>30 dB). |
Квантови технологии | Еднофотонни детектори, параметрични източници с понижаващо преобразуване | Високият нелинеен коефициент (χ(2)=40 pm/V) и ниската скорост на броене в тъмнина (<100 броя/s) подобряват квантовата прецизност. |
Индустриални сензори | Сензори за високотемпературно налягане, токови трансформатори | Пиезоелектричният отклик на пластината LiTaO3 (g33 >20 mV/m) и високата температурна толерантност (>400°C) са подходящи за екстремни условия. |
Услуги на XKH
1. Изработка на вафли по поръчка
· Размер и рязане: 2–8-инчови пластини с X/Y/Z-рязане, 42°Y-рязане и персонализирани ъглови рязани (толеранс ±0,01°).
· Контрол на допинга: Допиране с Fe, Mg по метода на Чохралски (диапазон на концентрация 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) за оптимизиране на електрооптичните коефициенти и термичната стабилност.
2. Разширени технологични процеси
· Периодично поляризиране (PPLT): Технология Smart-Cut за LTOI пластини, постигаща точност на периода на домейна ±10 nm и квазифазово съгласувано (QPM) преобразуване на честотата.
· Хетерогенна интеграция: Композитни пластини (POI) от LiTaO3 на базата на Si с контрол на дебелината (300–600 nm) и топлопроводимост до 8,78 W/m·K за високочестотни SAW филтри.
3. Системи за управление на качеството
· Тестване от край до край: Раманова спектроскопия (проверка на политип), XRD (кристалност), AFM (морфология на повърхността) и тестване за оптична еднородност (Δn <5×10⁻⁵).
4. Поддръжка на глобалната верига за доставки
· Производствен капацитет: Месечно производство >5000 пластини (8-инчови: 70%), с 48-часова аварийна доставка.
· Логистична мрежа: Покритие в Европа, Северна Америка и Азиатско-тихоокеанския регион чрез въздушен/морски превоз с температурно контролирана опаковка.


