English

Високочисти кварцови пластини от сплав за полупроводници, фотоника и оптични приложения 2″4″6″8″12″

Високочисти кварцови пластини от стопено вещество за полупроводникови, фотонични и оптични приложения 2″4″6″8″12″ Представено изображение
  • Високочисти кварцови пластини от сплав за полупроводници, фотоника и оптични приложения 2″4″6″8″12″
  • Високочисти кварцови пластини от сплав за полупроводници, фотоника и оптични приложения 2″4″6″8″12″
  • Високочисти кварцови пластини от сплав за полупроводници, фотоника и оптични приложения 2″4″6″8″12″
  • Високочисти кварцови пластини от сплав за полупроводници, фотоника и оптични приложения 2″4″6″8″12″

Кратко описание:

Разтопен кварц—известен също катоРазтопен силициев диоксид—е некристална (аморфна) форма на силициев диоксид (SiO₂). За разлика от боросиликатите или други индустриални стъкла, разтопеният кварц не съдържа добавки или добавки, предлагайки химически чист състав на SiO₂. Той е известен с изключителното си оптично пропускане както в ултравиолетовия (UV), така и в инфрачервения (IR) спектър, превъзхождайки традиционните стъклени материали.


Характеристики

Подробна диаграма

Пластини от разтопен силициев диоксид и оптично кварцово стъкло-2
4-инчова пластина от стопено_кварцово_монолит

Преглед на кварцовото стъкло

Кварцовите пластини формират гръбнака на безброй съвременни устройства, които движат днешния дигитален свят. От навигацията във вашия смартфон до гръбнака на 5G базовите станции, кварцът тихо осигурява стабилността, чистотата и прецизността, необходими във високопроизводителната електроника и фотоника. Независимо дали поддържа гъвкави схеми, позволява MEMS сензори или формира основата за квантови изчисления, уникалните характеристики на кварца го правят незаменим във всички индустрии.

„Стопен силициев диоксид“ или „Стопен кварц“, който е аморфната фаза на кварца (SiO2). За разлика от боросиликатно стъкло, стопеният силициев диоксид няма добавки; следователно съществува в чистата си форма, SiO2. Стопеният силициев диоксид има по-висока пропускливост в инфрачервения и ултравиолетовия спектър в сравнение с нормалното стъкло. Стопеният силициев диоксид се произвежда чрез топене и повторно втвърдяване на ултрачист SiO2. Синтетичният стопен силициев диоксид, от друга страна, е направен от богати на силиций химически прекурсори като SiCl4, които се газифицират и след това се окисляват в атмосфера от H2 + O2. Образуваният в този случай SiO2 прах се стопява със силициев диоксид върху субстрат. Блоковете от стопен силициев диоксид се нарязват на пластини, след което пластините се полират окончателно.

Основни характеристики и предимства на кварцовите стъклени пластини

  • Ултрависока чистота (≥99,99% SiO2)
    Идеален за ултрачисти полупроводникови и фотонни процеси, където замърсяването на материалите трябва да бъде сведено до минимум.

  • Широк термичен работен диапазон
    Поддържа структурната цялост от криогенни температури до над 1100°C без деформация или разграждане.

  • Отлична UV и IR трансмисия
    Осигурява отлична оптична яснота от дълбокия ултравиолетов (DUV) до близкия инфрачервен (NIR) спектър, поддържайки прецизни оптични приложения.

  • Нисък коефициент на термично разширение
    Подобрява размерната стабилност при температурни колебания, намалявайки напрежението и подобрявайки надеждността на процеса.

  • Превъзходна химическа устойчивост
    Инертен към повечето киселини, основи и разтворители, което го прави подходящ за химически агресивни среди.

  • Гъвкавост на повърхностното покритие
    Предлага се с ултрагладки, едностранно или двустранно полирани покрития, съвместими с изискванията на фотониката и MEMS.

Производствен процес на кварцови стъклени пластини

Кварцовите пластини се произвеждат чрез серия от контролирани и прецизни стъпки:

  1. Избор на суровини
    Избор на високочист естествен кварц или синтетични източници на SiO₂.

  2. Топене и сливане
    Кварцът се топи при ~2000°C в електрически пещи под контролирана атмосфера, за да се елиминират включванията и мехурчетата.

  3. Формиране на блокове
    Разтопеният силициев диоксид се охлажда в твърди блокове или блокове.

  4. Рязане на вафли
    За рязане на блокове в заготовки за пластини се използват прецизни диамантени или телени триони.

  5. Полиране и притискане
    И двете повърхности са изравнени и полирани, за да отговарят на точните оптични спецификации, спецификации за дебелина и грапавост.

  6. Почистване и инспекция
    Пластините се почистват в чисти помещения по ISO клас 100/1000 и се подлагат на строга проверка за дефекти и съответствие на размерите.

Свойства​ на кварцовата стъклена пластина

спецификация единица 4" 6" 8" 10" 12"
Диаметър / размер (или квадрат) mm 100 150 200 250 300
Толеранс (±) mm 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
Дебелина mm 0,10 или повече 0,30 или повече 0,40 или повече 0,50 или повече 0,50 или повече
Основен референтен плосък mm 32.5 57.5 Полу-прорез Полу-прорез Полу-прорез
LTV (5 мм × 5 мм) μm < 0,5 < 0,5 < 0,5 < 0,5 < 0,5
ТТВ μm < 2 < 3 < 3 < 5 < 5
Лък μm ±20 ±30 ±40 ±40 ±40
Варп μm ≤ 30 ≤ 40 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50
PLTV (5 мм × 5 мм) < 0,4 μm % ≥95% ≥95% ≥95% ≥95% ≥95%
Закръгляване на ръбове mm Съответства на стандарта SEMI M1.2 / вижте IEC62276
Тип повърхност Полирано от едната страна / Полирано от двете страни
Полирана страна Ra nm ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Критерии за обратна страна μm общо 0.2-0.7 или персонализирано

Кварц срещу други прозрачни материали

Имот Кварцово стъкло Боросиликатно стъкло Сапфир Стандартно стъкло
Максимална работна температура ~1100°C ~500°C ~2000°C ~200°C
UV предаване Отличен (JGS1) Слаб Добре Много лошо
Химическа устойчивост Отлично Умерено Отлично Слаб
Чистота Изключително високо Ниско до умерено Високо Ниско
Термично разширение Много ниско Умерено Ниско Високо
Цена Умерено до високо Ниско Високо Много ниско

Често задавани въпроси за кварцови стъклени вафли

В1: Каква е разликата между разтопен кварц и разтопен силициев диоксид?
Въпреки че и двата вида са аморфни форми на SiO₂, разтопеният кварц обикновено произхожда от естествени кварцови източници, докато разтопеният силициев диоксид се произвежда синтетично. Функционално те предлагат сходни характеристики, но разтопеният силициев диоксид може да има малко по-висока чистота и хомогенност.

В2: Могат ли пластините от разтопен кварц да се използват във високовакуумни среди?
Да. Поради ниските си свойства на отделяне на газове и високата си термична устойчивост, кварцовите пластини са отлични за вакуумни системи и аерокосмически приложения.

В3: Подходящи ли са тези пластини за приложения с дълбоки UV лазери?
Абсолютно. Разтопеният кварц има висока пропускливост до ~185 nm, което го прави идеален за DUV оптика, литографски маски и ексимерни лазерни системи.

Въпрос 4: Поддържате ли изработка на пластини по поръчка?
Да. Предлагаме пълна персонализация, включително диаметър, дебелина, качество на повърхността, плоски/прорези и лазерно моделиране, въз основа на специфичните изисквания на вашето приложение.

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.

 

Сапфирена пластина, заготовка, високочист суров сапфирен субстрат за обработка 5

  • Предишно:
  • Следващо:

    • Свързани продукти

    Напишете съобщението си тук и ни го изпратете
    Натиснете Enter за търсене или ESC за затваряне