Високопроизводителен алуминиев керамичен краен ефектор (вилково рамо) за автоматизация на полупроводници и чисти помещения

Кратко описание:

Алуминиево-керамичният краен ефектор, наричан още керамична вилка или роботизирана керамична ръка, е високопрецизен компонент за манипулиране, предназначен за автоматизирани системи в полупроводникови, фотоволтаични, панелни дисплеи и лабораторни среди с висока чистота. Той е проектиран да осигурява изключителна термична стабилност, механична твърдост и химическа устойчивост, предлагайки чист, надежден и безопасен транспорт на чувствителни материали като силициеви пластини, стъклени подложки и електронни микрокомпоненти.

Изпратете ни имейл

Характеристики

Подробна диаграма

Въведение на продукта

Като вид роботизиран краен ефектор, този керамичен компонент е крайният интерфейс между автоматизираната система и детайла. Той играе ключова роля в задачите за прецизно преместване, подравняване, товарене/разтоварване и позициониране в чисти помещения и вакуумни среди.

керамично рамо за полупроводниково задвижване с пластини G13

керамично рамо за полупроводниково задвижване с пластини G10

керамично рамо за полупроводниково задвижване с пластини G07

Преглед на материалите – Алуминиева керамика (Al₂O₃)

Алуминиевата керамика е високостабилен и химически инертен технически керамичен материал, известен с отличните си механични и електрически свойства. Алуминиевият оксид с висока чистота (≥ 99,5%), използван в тези крайни ефекти, гарантира:

Висока твърдост (Mohs 9)На второ място след диаманта, алуминиевият оксид осигурява изключителна износоустойчивост.
Възможност за висока температураПоддържа структурната цялост над 1600°C.
Химическа инертностУстойчив на киселини, основи, разтворители и среди на плазмено ецване.
Електрическа изолацияС висока диелектрична якост и ниски диелектрични загуби.
Ниско термично разширениеОсигурява размерна стабилност в условия на термични цикли.
Ниско генериране на частициОт съществено значение за съвместимост с чисти помещения (клас 10 до клас 1000).

Тези характеристики правят алуминиевата керамика идеална за критични операции в индустрии, чувствителни към замърсяване.

Функционални приложения

Алуминиево-керамичният краен ефектор е широко използван във високотехнологични промишлени процеси, особено там, където традиционните метални или пластмасови материали не отговарят на изискванията поради термично разширение, замърсяване или корозия. Ключови области на приложение включват:

Трансфер на полупроводникови пластини
Системи за зареждане и разтоварване на фотолитография
Работа със стъклени подложки в OLED и LCD линии
Трансфер на кристални силициеви пластини в производството на слънчеви клетки
Автоматизирана оптична или микроелектронна инспекция
Транспортиране на проби в аналитични или биомедицински лаборатории
Системи за автоматизация на вакуумна среда

Способността му да работи без внасяне на частици или статично електричество го прави незаменим за прецизни роботизирани операции в автоматизацията на чисти помещения.

Дизайнерски характеристики и персонализиране

Всеки керамичен краен ефектор е проектиран да пасва на специфично роботизирано рамо или система за обработка на пластини. Поддържаме пълна персонализация въз основа на:

Съвместимост на размера на пластината2", 4", 6", 8", 12" и повече
Геометрия и разстояние между слотоветеПодходящ за захващане по ръбовете, опора от задната страна или дизайн с назъбени пластини
Смукателни отвориВградени вакуумни отвори или канали за безконтактно боравене
Конфигурация за монтажОтвори, резби, слотове, съобразени с фланеца на крайния инструмент на вашия робот
Повърхностна обработкаПолирано, припокривано или фино шлайфано покритие (Ra < 0,2 µm)
Защита на ръбоветеЗаоблени ъгли или скосяване, за да се избегне повреда на пластината

Чрез използване на CAD чертежи или 3D модели, предоставени от клиентите, нашите инженери могат да оптимизират всяко рамо на вилката по отношение на тегло, здравина и чистота.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Предимства на керамичните крайни ефектори

Функция	Полза
Висока механична твърдост	Поддържа прецизност на размерите при роботизирани натоварващи сили
Отлични термични характеристики	Работи надеждно във високотемпературна или плазмена среда
Нулево замърсяване с метали	Няма риск от йонно замърсяване при критична обработка на полупроводници
Повърхност с ниско триене	Намалява риска от надраскване върху пластини или стъклени подложки
Антистатичен и немагнитен	Не привлича прах и не влияе на магнитно чувствителни компоненти
Дълъг експлоатационен живот	Превъзходна износоустойчивост при повтарящи се високоскоростни цикли на автоматизация
Съвместимост с ултрачисти материали	Подходящ за чисти помещения по ISO 14644 (клас 100 и по-долу)

В сравнение с пластмасовите или алуминиевите рамена, алуминиевата керамика осигурява драстично подобрена химическа и физическа стабилност с минимални изисквания за поддръжка.

Имот	Метална ръка	Пластмасово рамо	Керамично рамо от алуминиев оксид
Твърдост	Умерено	Ниско	Много високо (Моос 9)
Термична стабилност	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Химическа устойчивост	Умерено	Слаб	Отлично
Подходящост за чисти помещения	Среден	Ниско	Много високо
Устойчивост на износване	Среден	Ниско	Изключителен
Диелектрична якост	Ниско	Среден	Високо
Прецизна обработка по поръчка	Ограничено	Умерено	Високо (възможно ±0,01 мм)

Технически спецификации

Параметър	Стойност
Материал	Алуминиев оксид с висока чистота (≥ 99,5%)
Работна температура	До 1600°C
Грапавост на повърхността	Ra ≤ 0,2 µm (по избор)
Съвместими размери на вафлите	2" до 12" или по поръчка
Толеранс на плоскост	±0,01 мм (в зависимост от приложението)
Поддръжка на вакуумно засмукване	Допълнителни, персонализируеми канали
Опции за монтаж	Болтови, фланци, прорези

Често задавани въпроси (ЧЗВ)

В1: Може ли крайният ефектор да бъде интегриран в съществуващи роботизирани системи?
А1:Да. Поддържаме персонализиране въз основа на вашия роботизиран интерфейс. Можете да ни изпратите CAD чертеж или размери на фланци за прецизна адаптация.

В2: Ще се счупят ли лесно керамичните рамена по време на употреба?
А2:Въпреки че керамиката е крехка по природа, нашите дизайни използват оптимизирана геометрия, за да се сведе до минимум концентрацията на напрежение. При правилни условия на употреба те осигуряват значително по-дълъг експлоатационен живот от метала или пластмасата.

В3: Възможно ли е това да се използва в камери за ултрависок вакуум или плазмено ецване?
А3:Да. Алуминиевата керамика не отделя газове, е термично стабилна и устойчива на корозия – идеално подходяща за среди с висок вакуум, реактивни газове или плазма.

В4: Как се почистват или поддържат тези компоненти?
А4:Могат да се почистват с деионизирана вода, алкохол или препарати, съвместими с чисти помещения. Не се изисква специална поддръжка поради химическата им стабилност и инертната им повърхност.

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.