Диаметър 300x1.0 мм дебелина сапфирена пластина C-равнина SSP/DSP
Въвеждане на кутия за вафли
Кристални материали | 99,999% Al2O3, висока чистота, монокристален, Al2O3 | |||
Кристално качество | Включвания, блокови следи, близнаци, цвят, микромехурчета и центрове на разпръскване не съществуват | |||
Диаметър | 2 инча | 3 инча | 4 инча | 6 инча ~ 12 инча |
50,8± 0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | В съответствие с разпоредбите на стандартното производство | |
Дебелина | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Може да се персонализира от клиента |
Ориентация | C-равнина (0001) към M-равнина (1-100) или A-равнина (11-20) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-равнина (1-102), A-равнина (11-20), M-равнина (1-100), всякаква ориентация, всеки ъгъл | |||
Дължина на основната плоска част | 16,0±1 мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | В съответствие с разпоредбите на стандартното производство |
Основна ориентация на апартамента | А-равнина (11-20) ± 0,2° | |||
ТТВ | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Задължителност на общата стойност (LTV) | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ТИР | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Лък | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Варп | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Предна повърхност | Епи-полиран (Ra < 0.2nm) |
*Извивка: Отклонението на централната точка на средната повърхност на свободна, незатегната пластина от референтната равнина, където референтната равнина се определя от трите ъгъла на равностранен триъгълник.
*Деформация: Разликата между максималното и минималното разстояние на средната повърхност на свободна, незатегната пластина от референтната равнина, дефинирана по-горе.
Висококачествени продукти и услуги за полупроводникови устройства от следващо поколение и епитаксиален растеж:
Висока степен на плоскост (контролирана TTV, дъга, основа и др.)
Висококачествено почистване (ниско замърсяване с частици, ниско замърсяване с метал)
Пробиване на основата, каналиране, рязане и полиране на обратната страна
Прикачване на данни като чистота и форма на основата (по избор)
Ако имате нужда от сапфирени субстрати, моля, не се колебайте да се свържете с нас:
поща:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Ще се обърнем към вас възможно най-скоро!
Подробна диаграма

