Диаметър 300x1,0 мм Дебелина Сапфирена пластина C-равнина SSP/DSP
Представяне на кутия за вафли
Кристални материали | 99,999% от Al2O3, висока чистота, монокристален, Al2O3 | |||
Кристално качество | Включвания, белези на блокове, близнаци, цвят, микромехурчета и центрове за разпръскване не съществуват | |||
Диаметър | 2 инча | 3 инча | 4 инча | 6 инча ~ 12 инча |
50,8±0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | В съответствие с разпоредбите на стандартното производство | |
Дебелина | 430±15 µm | 550±15 µm | 650±20µm | Може да се персонализира от клиента |
Ориентация | С-равнина (0001) към М-равнина (1-100) или А-равнина (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-равнина (1-1 0 2), А-равнина (1 1-2 0), M-равнина (1-1 0 0), Всяка ориентация, Всеки ъгъл | |||
Основна плоска дължина | 16,0±1 мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | В съответствие с разпоредбите на стандартното производство |
Основна плоска ориентация | А-равнина (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ТИР | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
ЛЪК | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Деформация | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Предна повърхност | Епиполиран (Ra<0.2nm) |
*Лък: Отклонението на централната точка на средната повърхност на свободна, незакрепена пластина от референтната равнина, където референтната равнина се определя от трите ъгъла на равностранен триъгълник.
*Изкривяване: Разликата между максималните и минималните разстояния на средната повърхност на свободна, незахваната пластина от базовата равнина, дефинирана по-горе.
Висококачествени продукти и услуги за следващо поколение полупроводникови устройства и епитаксиален растеж:
Висока степен на плоскост (контролиран TTV, дъга, основа и т.н.)
Висококачествено почистване (ниско замърсяване с частици, ниско замърсяване с метал)
Пробиване на субстрата, нарязване, рязане и полиране на задната страна
Прикачване на данни като чистота и форма на субстрата (по избор)
Ако имате нужда от сапфирени субстрати, моля не се колебайте да се свържете с:
поща:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Ще се върнем при вас възможно най-скоро!
Подробна диаграма

