6-инчов SiC Epitaxiy вафла N/P тип приема персонализирани
Процесът на приготвяне на епитаксиална пластина от силициев карбид е метод, използващ технологията за химическо отлагане на пари (CVD).Следват съответните технически принципи и етапи на процеса на подготовка:
Технически принцип:
Химично отлагане на пари: Използвайки суровия газ в газовата фаза, при специфични реакционни условия, той се разлага и отлага върху субстрата, за да образува желания тънък филм.
Реакция в газова фаза: Чрез реакция на пиролиза или крекинг различни газове от суровини в газовата фаза се променят химически в реакционната камера.
Стъпки на подготвителния процес:
Обработка на субстрата: Субстратът се подлага на повърхностно почистване и предварителна обработка, за да се гарантира качеството и кристалността на епитаксиалната пластина.
Отстраняване на грешки в реакционната камера: регулирайте температурата, налягането и скоростта на потока на реакционната камера и други параметри, за да осигурите стабилност и контрол на условията на реакцията.
Подаване на суровини: подайте необходимите газови суровини в реакционната камера, като смесите и контролирате скоростта на потока, ако е необходимо.
Реакционен процес: Чрез нагряване на реакционната камера, газообразната суровина претърпява химическа реакция в камерата, за да се получи желаното отлагане, т.е. филм от силициев карбид.
Охлаждане и разтоварване: В края на реакцията температурата постепенно се понижава, за да се охладят и втвърдят отлаганията в реакционната камера.
Отгряване и последваща обработка на епитаксиална пластина: отложената епитаксиална пластина се отгрява и последваща обработка за подобряване на нейните електрически и оптични свойства.
Специфичните стъпки и условия на процеса на приготвяне на епитаксиална пластина от силициев карбид може да варират в зависимост от специфичното оборудване и изисквания.Горното е само общ процес и принцип, конкретната операция трябва да се коригира и оптимизира според действителната ситуация.
Подробна диаграма
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)