150 мм 6 инча 0,7 мм 0,5 мм сапфирена подложка за вафлен носач C-равнина SSP/DSP
Приложения
Приложенията за 6-инчови сапфирени пластини включват:
1. Производство на LED: сапфирена пластина може да се използва като субстрат на LED чипове, а нейната твърдост и топлопроводимост могат да подобрят стабилността и експлоатационния живот на LED чиповете.
2. Лазерно производство: Сапфирената пластина може също да се използва като субстрат на лазер, за да помогне за подобряване на работата на лазера и удължаване на експлоатационния живот.
3. Производство на полупроводници: Сапфирените пластини се използват широко в производството на електронни и оптоелектронни устройства, включително оптичен синтез, слънчеви клетки, високочестотни електронни устройства и др.
4. Други приложения: Сапфирената пластина може да се използва и за производство на сензорни екрани, оптични устройства, тънкослойни слънчеви клетки и други високотехнологични продукти.
Спецификация
Материал | Монокристал Al2O3 с висока чистота, сапфирена пластина. |
Измерение | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 инча |
Дебелина | 1300 +/- 25 um |
Ориентация | C равнина (0001) извън M (1-100) равнина 0,2 +/- 0,05 градуса |
Основна плоска ориентация | Равнина +/- 1 градус |
Основна плоска дължина | 47,5 мм +/- 1 мм |
Обща вариация на дебелината (TTV) | <20 um |
Поклон | <25 um |
Деформация | <25 um |
Коефициент на термично разширение | 6,66 x 10-6 / °C успоредно на оста C, 5 x 10-6 /°C перпендикулярно на оста C |
Диелектрична якост | 4,8 x 105 V/cm |
Диелектрична константа | 11,5 (1 MHz) по оста C, 9,3 (1 MHz) перпендикулярно на оста C |
Тангенс на диелектричните загуби (известен още като фактор на разсейване) | по-малко от 1 х 10-4 |
Топлопроводимост | 40 W/(mK) при 20 ℃ |
Полиране | едностранно полирани (SSP) или двустранно полирани (DSP) Ra < 0,5 nm (чрез AFM). Обратната страна на пластината SSP беше фино смляна до Ra = 0,8 - 1,2 um. |
Пропускливост | 88% +/-1% при 460 nm |