150 мм 6 инча 0.7 мм 0.5 мм сапфирен подложка носач C-равнина SSP/DSP
Приложения
Приложенията за 6-инчови сапфирени пластини включват:
1. Производство на светодиоди: сапфирената пластина може да се използва като субстрат на LED чиповете, а нейната твърдост и топлопроводимост могат да подобрят стабилността и експлоатационния живот на LED чиповете.
2. Лазерно производство: Сапфирената пластина може да се използва и като субстрат на лазера, за да се подобри производителността на лазера и да се удължи експлоатационният живот.
3. Производство на полупроводници: Сапфирените пластини се използват широко в производството на електронни и оптоелектронни устройства, включително оптичен синтез, слънчеви клетки, високочестотни електронни устройства и др.
4. Други приложения: Сапфирените пластини могат да се използват и за производство на сензорни екрани, оптични устройства, тънкослойни слънчеви клетки и други високотехнологични продукти.
Спецификация
| Материал | Високочист монокристален Al2O3, сапфирена пластина. |
| Размер | 150 мм +/- 0,05 мм, 6 инча |
| Дебелина | 1300 +/- 25 μm |
| Ориентация | Равнина C (0001) отклонение от равнина M (1-100) 0,2 +/- 0,05 градуса |
| Основна плоска ориентация | Равнина +/- 1 градус |
| Дължина на основната плоска част | 47,5 мм +/- 1 мм |
| Обща вариация на дебелината (TTV) | <20 μm |
| Лък | <25 μm |
| Варп | <25 μm |
| Коефициент на термично разширение | 6,66 x 10⁻⁶ / °C успоредно на оста C, 5 x 10⁻⁶ /°C перпендикулярно на оста C |
| Диелектрична якост | 4,8 x 10⁶ V/см |
| Диелектрична константа | 11,5 (1 MHz) по оста C, 9,3 (1 MHz) перпендикулярно на оста C |
| Тангенс на диелектричните загуби (известен още като коефициент на разсейване) | по-малко от 1 x 10⁻⁴ |
| Топлопроводимост | 40 W/(mK) при 20℃ |
| Полиране | едностранно полирана (SSP) или двустранно полирана (DSP) Ra < 0.5 nm (чрез AFM). Обратната страна на SSP пластината е фино шлайфана до Ra = 0.8 - 1.2 um. |
| Пропускливост | 88% +/-1% при 460 nm |
Подробна диаграма
