4-инчова SiC Epi пластина за MOS или SBD

Кратко описание:

SiCC разполага с цялостна линия за производство на субстрат за пластини SiC (силициев карбид), интегрираща растеж на кристали, обработка на пластини, производство на пластини, полиране, почистване и тестване. В момента можем да предоставим аксиални или извън оси полуизолационни и полупроводими 4H и 6H SiC пластини с размери 5x5mm2, 10x10mm2, 2″, 3″, 4″ и 6″, пробивайки чрез потискане на дефекти, обработка на кристални семена и бърз растеж и други Той е пробил ключовите технологии като дефект потискане, обработка на кристални семена и бърз растеж и насърчаване на основните изследвания и развитие на епитаксия от силициев карбид, устройства и други свързани основни изследвания.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Епитаксията се отнася до растежа на слой от по-висококачествен монокристален материал върху повърхността на субстрат от силициев карбид. Сред тях растежът на епитаксиален слой от галиев нитрид върху полуизолиращ субстрат от силициев карбид се нарича хетерогенна епитаксия; растежът на епитаксиален слой от силициев карбид върху повърхността на проводящ субстрат от силициев карбид се нарича хомогенна епитаксия.

Епитаксиалният е в съответствие с изискванията за дизайн на устройството за растежа на основния функционален слой, до голяма степен определя производителността на чипа и устройството, цената на 23%. Основните методи за SiC тънкослойна епитаксия на този етап включват: химическо отлагане на пари (CVD), молекулярно-лъчева епитаксия (MBE), течнофазова епитаксия (LPE) и импулсно лазерно отлагане и сублимация (PLD).

Епитаксията е много важна връзка в цялата индустрия. Чрез отглеждане на GaN епитаксиални слоеве върху полуизолационни субстрати от силициев карбид се произвеждат GaN епитаксиални пластини на базата на силициев карбид, които могат да бъдат допълнително направени в GaN RF устройства като транзистори с висока подвижност на електрони (HEMTs);

Чрез отглеждане на епитаксиален слой от силициев карбид върху проводяща подложка, за да се получи епитаксиална пластина от силициев карбид, и в епитаксиалния слой при производството на диоди на Шотки, транзистори с полуполев ефект злато-кислород, биполярни транзистори с изолиран затвор и други захранващи устройства, така че качеството на епитаксиалът върху производителността на устройството е много голямо влияние върху развитието на индустрията също играе много критична роля.