4 инча 6 инча литиев ниобат монокристален филм LNOI вафла
Процесът на подготовка на LNOI материали е разделен главно на следните четири стъпки
(1) He йони бяха инжектирани в X-срязания литиев ниобат материал при определена енергия и въведени в дефектния слой на определена дълбочина под повърхностния слой на литиев ниобат;
(2) Материалът с йонно имплантиран литиев ниобат е свързан към силиконов субстрат с оксиден слой, за да образува свързваща структура;
(3) Свързващата структура беше отгрята, за да накара дефектите, въведени от имплантирането на He йони, да се развият и агрегират, за да образуват пукнатини. Накрая литиевият ниобат се отделя по дължината на дефектния слой, за да се образуват остатъчни срезове от литиев ниобат и пластини LNOI.
Приложения и предимства на вафлата LNOI
1--Пиезоелектричните филми от литиев ниобат (LNOI) имат висок пиезоелектричен коефициент и диелектрична константа, които могат да преобразуват механичната енергия в електрическа енергия или електрическата енергия в механична енергия. Следователно, той се използва широко в областта на сензорите, като сензори за налягане, сензори за ускорение, сензори за температура и т.н. В допълнение, пиезоелектрическият филм от литиев ниобат може да се използва и в акустични устройства и вибрационни устройства, като пиезоелектричен керамичен преобразувател сложен пиезоелектричен керамичен филтър.
2-Стабилността на пиезоелектричния филм от литиев ниобат също е едно от неговите предимства. Поради стабилността на кристалната структура и химическата си инертност, пиезоелектрическият филм от литиев ниобат може да работи при висока температура, висока влажност, силна киселина, силна основа и друга тежка среда, с добра устойчивост на корозия и издръжливост.
3-литиево-ниобатният пиезоелектричен филм е нов пиезоелектричен материал с отлична производителност и стабилност и има широка перспектива за приложение. С непрекъснатото развитие на науката и технологиите, пиезоелектричното фолио от литиев ниобат ще се прилага в повече градове, носейки повече удобство и иновации в живота на хората