4-инчов 6-инчов LNOI монокристален филм от литиев ниобат
Процесът на приготвяне на LNOI материали е разделен основно на следните четири стъпки
(1) He йони бяха инжектирани в X-cut литиево-ниобатния материал с определена енергия и въведени в дефектния слой на определена дълбочина под повърхностния слой на литиевия ниобат;
(2) Йонно имплантираният литиево-ниобатен материал е свързан със силициев субстрат с оксиден слой, за да образува свързваща структура;
(3) Свързващата структура беше отгрята, за да се предизвика еволюция и агрегация на дефектите, въведени чрез имплантиране на He йони, за да се образуват пукнатини. Накрая, литиевият ниобат беше отделен по дефектния слой, за да се образуват остатъчните резени от литиев ниобат и LNOI пластини.
Приложения и предимства на LNOI пластината
1. Пиезоелектричните филми от литиев ниобат (LNOI) имат висок пиезоелектричен коефициент и диелектрична константа, което им позволява да преобразуват механичната енергия в електрическа или електрическата енергия в механична енергия. Поради това те се използват широко в областта на сензорите, като например сензори за налягане, сензори за ускорение, сензори за температура и т.н. Освен това, пиезоелектричният филм от литиев ниобат може да се използва и в акустични устройства и вибрационни устройства, като например пиезоелектричен керамичен преобразувател и сложни пиезоелектрични керамични филтри.
2- Стабилността на пиезоелектрическото фолио от литиев ниобат също е едно от неговите предимства. Благодарение на стабилността на кристалната си структура и химическата си инертност, пиезоелектрическото фолио от литиев ниобат може да работи при високи температури, висока влажност, силни киселини, силни основи и други тежки среди, като се отличава с добра устойчивост на корозия и издръжливост.
3-Литиево-ниобатният пиезоелектричен филм е нов пиезоелектричен материал с отлични характеристики и стабилност и има широки перспективи за приложение. С непрекъснатото развитие на науката и технологиите, литиево-ниобатният пиезоелектричен филм ще се прилага в повече градове, носейки повече удобство и иновации в живота на хората.
Подробна диаграма


