4H/6H-P 6 инча SiC пластина Нулев MPD клас Производствен клас Фиктивен клас

4H/6H-P 6-инчова SiC пластина Нулев MPD клас Производствен клас Фиктивен клас Представено изображение

Кратко описание:

6-инчовата SiC пластина тип 4H/6H-P е полупроводников материал, използван в производството на електронни устройства, известен със своята отлична топлопроводимост, високо напрежение на пробив и устойчивост на високи температури и корозия. Производственият клас и класът Zero MPD (Micro Pipe Defect) гарантират неговата надеждност и стабилност във високопроизводителна силова електроника. Вафлите с производствен клас се използват за широкомащабно производство на устройства със строг контрол на качеството, докато вафлите с фиктивен клас се използват предимно за отстраняване на грешки в процеси и тестване на оборудване. Изключителните свойства на SiC го правят широко използван в електронни устройства с висока температура, високо напрежение и висока честота, като захранващи устройства и радиочестотни устройства.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

4H/6H-P тип SiC композитни субстрати Таблица с общи параметри

6 инчов диаметър силициев карбид (SiC) субстрат Спецификация

Степен			Нулево MPD производствоСтепен (Z клас)	Стандартно производствоСтепен (P клас)	Фиктивна оценка (D клас)
Диаметър			145,5 mm~150,0 mm
Дебелина			350 μm ± 25 μm
Ориентация на вафли			-Offос: 2,0°-4,0° към [1120] ± 0,5° за 4H/6H-P, По ос: 〈111〉± 0,5° за 3C-N
Плътност на микротръбата			0 cm-2
Съпротивление	p-тип 4H/6H-P		≤0,1 Ωꞏcm		≤0,3 Ωꞏcm
	n-тип 3C-N		≤0,8 mΩꞏcm		≤1 m Ωꞏcm
Основна плоска ориентация		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Първична плоска дължина			32,5 mm ± 2,0 mm
Вторична плоска дължина			18,0 мм ± 2,0 мм
Вторична плоска ориентация			Силикон с лицето нагоре: 90° CW. от прайм плоскост ± 5,0°
Изключване на ръба			3 мм		6 мм
LTV/TTV/Лък/Изкривяване			≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Грапавост			Полски Ra≤1 nm
			CMP Ra≤0,2 nm		Ra≤0,5 nm
Пукнатини по ръбовете от светлина с висок интензитет			Няма		Кумулативна дължина ≤ 10 mm, единична дължина ≤ 2 mm
Шестоъгълни плочи чрез светлина с висок интензитет			Кумулативна площ ≤0,05%		Кумулативна площ ≤0,1%
Политипни зони чрез светлина с висок интензитет			Няма		Кумулативна площ≤3%
Визуални въглеродни включвания			Кумулативна площ ≤0,05%		Кумулативна площ ≤3%
Силиконови повърхностни драскотини от светлина с висок интензитет			Няма		Кумулативна дължина≤1×диаметър на пластина
Edge Chips High By Intensity Light			Няма разрешени ≥0,2 mm ширина и дълбочина		5 разрешени, ≤1 mm всеки
Силициево повърхностно замърсяване с висок интензитет			Няма
Опаковка			Касета с множество вафли или контейнер за единични вафли

Бележки:

※ Ограниченията за дефекти се прилагат за цялата повърхност на вафлата, с изключение на зоната за изключване на ръбовете. # Драскотините трябва да се проверят на лицето Si o

6-инчовата SiC пластина тип 4H/6H-P с нулев MPD клас и производствен или фиктивен клас се използва широко в съвременни електронни приложения. Неговата отлична топлопроводимост, високо напрежение на пробив и устойчивост на тежки среди го правят идеален за силова електроника, като превключватели за високо напрежение и инвертори. Класът Zero MPD гарантира минимални дефекти, критични за устройства с висока надеждност. Производствените пластини се използват в широкомащабно производство на захранващи устройства и радиочестотни приложения, където производителността и прецизността са от решаващо значение. Пластинките с фиктивен клас, от друга страна, се използват за калибриране на процеси, тестване на оборудване и създаване на прототипи, което позволява последователен контрол на качеството в среди за производство на полупроводници.

Предимствата на N-тип SiC композитни субстрати включват

Висока топлопроводимост: 4H/6H-P SiC пластината ефективно разсейва топлината, което я прави подходяща за електронни приложения с висока температура и висока мощност.
Високо напрежение на пробив: Способността му да се справя с високи напрежения без повреда го прави идеален за силова електроника и комутационни приложения с високо напрежение.
Степен на нулев MPD (микро дефект на тръбата).: Минималната плътност на дефектите гарантира по-висока надеждност и производителност, критична за взискателните електронни устройства.
Производствен клас за масово производство: Подходящ за широкомащабно производство на високопроизводителни полупроводникови устройства със строги стандарти за качество.
Фиктивна степен за тестване и калибриране: Позволява оптимизация на процеси, тестване на оборудване и създаване на прототипи без използване на скъпи пластини за производство.

Като цяло 4H/6H-P 6-инчови SiC пластини с нулев MPD клас, производствен клас и фиктивен клас предлагат значителни предимства за разработването на високопроизводителни електронни устройства. Тези пластини са особено полезни в приложения, изискващи работа при висока температура, висока плътност на мощността и ефективно преобразуване на мощността. Класът Zero MPD осигурява минимални дефекти за надеждна и стабилна работа на устройството, докато пластините с производствен клас поддържат широкомащабно производство със строг контрол на качеството. Пластините с фиктивен клас осигуряват рентабилно решение за оптимизиране на процесите и калибриране на оборудването, което ги прави незаменими за високопрецизно производство на полупроводници.