4H-N/6H-N SiC Wafer Research производство Dummy grade Dia150mm силициево-карбидна подложка
Спецификация на подложка от силициев карбид (SiC) с диаметър 6 инча
| Оценка | Нулево MPD | Производство | Изследователска степен | Манекен клас |
| Диаметър | 150,0 мм ± 0,25 мм | |||
| Дебелина | 4H-N | 350μm±25μm | ||
| 4H-SI | 500μm±25μm | |||
| Ориентация на пластината | По оста:<0001>±0,5° за 4H-SI | |||
| Основен апартамент | {10-10}±5,0° | |||
| Дължина на основната плоска част | 47,5 мм ± 2,5 мм | |||
| Изключване на ръбове | 3 мм | |||
| TTV/Лък/Деформация | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
| Плътност на микротръбите | ≤1 см-2 | ≤5 см-2 | ≤15 см-2 | ≤50 см-2 |
| Съпротивление 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!см | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Грапавост | Полски Ra ≤1nm CMP Ra ≤0.5nm | |||
| #Пукнатини от светлина с висок интензитет | Няма | 1 разрешено, ≤2 мм | Кумулативна дължина ≤10 мм, единична дължина ≤2 мм | |
| *Шестостенни плочи с високоинтензивна светлина | Кумулативна площ ≤1% | Кумулативна площ ≤ 2% | Кумулативна площ ≤ 5% | |
| *Политипизирани области чрез светлина с висок интензитет | Няма | Кумулативна площ ≤ 2% | Кумулативна площ ≤ 5% | |
| *&Драсотини от светлина с висок интензитет | 3 драскотини до 1 x диаметър на пластината кумулативна дължина | 5 драскотини до 1 x диаметър на пластината кумулативна дължина | 5 драскотини до 1 x диаметър на пластината кумулативна дължина | |
| Ръбен чип | Няма | 3 разрешени, ≤0,5 мм всяка | 5 разрешени, ≤1 мм всеки | |
| Замърсяване от светлина с висок интензитет | Няма
| |||
Продажби и обслужване на клиенти
Закупуване на материали
Отделът за закупуване на материали е отговорен за събирането на всички суровини, необходими за производството на вашия продукт. Винаги е налична пълна проследимост на всички продукти и материали, включително химичен и физичен анализ.
Качество
По време и след производството или машинната обработка на вашите продукти, отделът за контрол на качеството участва в осигуряването на съответствие или превишаване на вашите спецификации.
Услуга
Гордеем се с екипа си от инженерни отдели по продажбите с над 5 години опит в полупроводниковата индустрия. Те са обучени да отговарят на технически въпроси, както и да предоставят навременни оферти за вашите нужди.
Ние сме на ваша страна по всяко време, когато имате проблем, и го разрешаваме в рамките на 10 часа.



