4-инчова високочиста Al2O3 99.999% сапфирена подложка с диаметър 101.6 × 0.65 мм с основна плоска дължина
Описание
Общите спецификации на 4-инчовите сапфирени пластини са представени, както следва:
Дебелина: Дебелината на обикновените сапфирени пластини е между 0,2 мм и 2 мм, а специфичната дебелина може да бъде персонализирана според изискванията на клиента.
Ръб за поставяне: Обикновено има малка част на ръба на пластината, наречена „ръб за поставяне“, която защитава повърхността и ръба на пластината и обикновено е аморфна.
Подготовка на повърхността: Обикновените сапфирени пластини се шлифоват механично и химически-механично се полират, за да се изглади повърхността.
Повърхностни свойства: Повърхността на сапфирените пластини обикновено има добри оптични свойства, като ниска отражателна способност и нисък коефициент на пречупване, за да подобри производителността на устройството.
Приложения
● Субстрат за растеж на съединения III-V и II-VI
● Електроника и оптоелектроника
● ИЧ приложения
● Интегрална схема със силиций върху сапфир (SOS)
● Радиочестотна интегрална схема (RFIC)
Спецификация
| Елемент | 4-инчови C-равнина (0001) 650μm сапфирени пластини | |
| Кристални материали | 99,999%, висока чистота, монокристален Al2O3 | |
| Оценка | Първичен, готов за епидемия | |
| Ориентация на повърхността | C-равнина (0001) | |
| Ъгъл на отклонение от равнината C спрямо оста M 0,2 +/- 0,1° | ||
| Диаметър | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Дебелина | 650 μm +/- 25 μm | |
| Основна плоска ориентация | А-равнина (11-20) +/- 0,2° | |
| Дължина на основната плоска част | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
| Полирано от едната страна | Предна повърхност | Епи-полиран, Ra < 0.2 nm (чрез AFM) |
| (ТСП) | Задна повърхност | Фино смляно, Ra = от 0,8 μm до 1,2 μm |
| Двустранно полирана | Предна повърхност | Епи-полиран, Ra < 0.2 nm (чрез AFM) |
| (ДСП) | Задна повърхност | Епи-полиран, Ra < 0.2 nm (чрез AFM) |
| ТТВ | < 20 μm | |
| Лък | < 20 μm | |
| ДЕФОРМАЦИЯ | < 20 μm | |
| Почистване / Опаковане | Почистване на чисти помещения клас 100 и вакуумно опаковане, | |
| 25 броя в една касетъчна опаковка или опаковка от единични части. | ||
Ние имаме дългогодишен опит в индустрията за обработка на сапфири. Включително на китайския пазар на доставчици, както и на международния пазар на търсене. Ако имате някакви нужди, не се колебайте да се свържете с нас.
Подробна диаграма
