2-инчов SiC слитък Dia50.8mmx10mmt 4H-N монокристал

Кратко описание:

2-инчов SiC (силициев карбид) слитък се отнася до цилиндричен или блоковиден монокристал от силициев карбид с диаметър или дължина на ръба от 2 инча.Слитъците от силициев карбид се използват като изходен материал за производството на различни полупроводникови устройства, като силови електронни устройства и оптоелектронни устройства.

Изпратете имейл до нас

Подробности за продукта

Продуктови етикети

SiC Crystal Growth Technology

Характеристиките на SiC затрудняват отглеждането на монокристали.Това се дължи главно на факта, че няма течна фаза със стехиометрично съотношение на Si : C = 1 : 1 при атмосферно налягане и не е възможно да се отглежда SiC чрез по-зрелите методи за растеж, като метода на директно изтегляне и методът на падащия тигел, които са опорите на полупроводниковата индустрия.Теоретично разтвор със стехиометрично съотношение на Si : C = 1 : 1 може да се получи само когато налягането е по-високо от 10E5atm и температурата е по-висока от 3200 ℃.Понастоящем основните методи включват PVT метода, течнофазовия метод и високотемпературния метод на химическо отлагане на парна фаза.

Пластините и кристалите SiC, които предоставяме, се отглеждат главно чрез физически транспорт на пари (PVT), а следното е кратко въведение в PVT:

Методът за физически пренос на парите (PVT) произхожда от техниката за сублимация в газова фаза, изобретена от Lely през 1955 г., при която прахът SiC се поставя в графитна тръба и се нагрява до висока температура, за да накара праха SiC да се разложи и сублимира, а след това и графитът тръбата се охлажда и разложените газови фазови компоненти на SiC праха се отлагат и кристализират като SiC кристали в околната област на графитната тръба.Въпреки че този метод е труден за получаване на монокристали SiC с големи размери и процесът на отлагане вътре в графитната тръба е труден за контролиране, той предоставя идеи за следващите изследователи.

YM Tairov и др.в Русия въвежда концепцията за зародишен кристал на тази основа, която решава проблема с неконтролируемата кристална форма и позицията на зародиш на SiC кристалите.Следващите изследователи продължиха да подобряват и в крайна сметка разработиха метода за физически пренос на парите (PVT), който се използва индустриално днес.

Като най-ранният метод за растеж на SiC кристали, PVT в момента е най-масовият метод за растеж на SiC кристали.В сравнение с други методи, този метод има ниски изисквания за оборудване за растеж, прост процес на растеж, силна контролируемост, задълбочено развитие и изследване и вече е индустриализиран.