156 мм 159 мм 6-инчова сапфирена пластина за носач C-Plane DSP TTV
Спецификация
Елемент | 6-инчови сапфирени пластини C-равнина (0001) | |
Кристални материали | 99,999%, висока чистота, монокристален Al2O3 | |
Оценка | Първичен, готов за епидемия | |
Ориентация на повърхността | C-равнина (0001) | |
Ъгъл на отклонение от равнината C спрямо оста M 0,2 +/- 0,1° | ||
Диаметър | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
Дебелина | 650 μm +/- 25 μm | |
Основна плоска ориентация | C-равнина (00-01) +/- 0,2° | |
Полирано от едната страна | Предна повърхност | Епи-полиран, Ra < 0.2 nm (чрез AFM) |
(ТСП) | Задна повърхност | Фино смляно, Ra = от 0,8 μm до 1,2 μm |
Двустранно полирана | Предна повърхност | Епи-полиран, Ra < 0.2 nm (чрез AFM) |
(ДСП) | Задна повърхност | Епи-полиран, Ra < 0.2 nm (чрез AFM) |
ТТВ | < 20 μm | |
Лък | < 20 μm | |
ДЕФОРМАЦИЯ | < 20 μm | |
Почистване / Опаковане | Почистване на чисти помещения клас 100 и вакуумно опаковане, | |
25 броя в една касетъчна опаковка или опаковка от единични части. |
Методът на Килопулос (KY метод) в момента се използва от много компании в Китай за производство на сапфирени кристали за употреба в електронната и оптичната промишленост.
При този процес, високочист алуминиев оксид се стопява в тигел при температури над 2100 градуса по Целзий. Обикновено тигелът е изработен от волфрам или молибден. Прецизно ориентиран зародишен кристал се потапя в разтопения алуминиев оксид. Зародишният кристал се издърпва бавно нагоре и може да се завърта едновременно. Чрез прецизен контрол на температурния градиент, скоростта на издърпване и скоростта на охлаждане, от стопилката може да се получи голям, монокристален, почти цилиндричен слитък.
След като монокристалните сапфирени блокове се отгледат, те се пробиват в цилиндрични пръти, които след това се нарязват до желаната дебелина на прозореца и накрая се полират до желаната повърхностна обработка.
Подробна диаграма


