С непрекъснатото развитие на полупроводниковата технология, в полупроводниковата индустрия и дори във фотоволтаичната индустрия, изискванията за качеството на повърхността на подложката за пластини или епитаксиалния лист също са много строги.И така, какви са изискванията за качество на вафлите?Вземайки сапфирените пластини като пример, какви показатели могат да се използват за оценка на качеството на повърхността на пластините?
Какви са показателите за оценка на вафлите?
Трите индикатора
За сапфирените пластини неговите показатели за оценка са общо отклонение на дебелината (TTV), огъване (Bow) и деформация (Warp).Тези три параметъра заедно отразяват плоскостта и еднаквостта на дебелината на силиконовата пластина и могат да измерват степента на пулсации на пластината.Гофрирането може да се комбинира с плоскостта, за да се оцени качеството на повърхността на вафлата.
Какво е TTV, BOW, Warp?
TTV (обща вариация на дебелината)
TTV е разликата между максималната и минималната дебелина на пластината.Този параметър е важен показател, използван за измерване на еднородността на дебелината на пластината.При полупроводников процес дебелината на пластината трябва да бъде много еднаква по цялата повърхност.Измерванията обикновено се правят на пет места на пластината и разликата се изчислява.В крайна сметка тази стойност е важна основа за преценка на качеството на вафлата.
Лък
Дъгата в производството на полупроводници се отнася до огъване на пластина, освобождавайки разстоянието между средната точка на незахваната пластина и референтната равнина.Думата вероятно идва от описание на формата на предмет, когато е огънат, като извитата форма на лък.Стойността на Bow се определя чрез измерване на отклонението между центъра и ръба на силиконовата пластина.Тази стойност обикновено се изразява в микрометри (µm).
Деформация
Деформацията е глобално свойство на пластините, което измерва разликата между максималното и минималното разстояние между средата на свободно незахваната пластина и референтната равнина.Представлява разстоянието от повърхността на силиконовата пластина до равнината.
Каква е разликата между TTV, Bow, Warp?
TTV се фокусира върху промените в дебелината и не се занимава с огъване или изкривяване на пластината.
Лъкът се фокусира върху цялостното огъване, като се има предвид главно огъването на централната точка и ръба.
Деформацията е по-всеобхватна, включително огъване и усукване на цялата повърхност на вафлата.
Въпреки че тези три параметъра са свързани с формата и геометричните свойства на силициевата пластина, те се измерват и описват по различен начин и тяхното въздействие върху полупроводниковия процес и обработката на пластините също е различно.
Колкото по-малки са трите параметъра, толкова по-добре и колкото по-голям е параметърът, толкова по-голямо е отрицателното въздействие върху полупроводниковия процес.Следователно, като практикуващ полупроводник, ние трябва да осъзнаем важността на параметрите на профила на пластината за целия процес на процеса, да направим полупроводников процес, трябва да обърнем внимание на детайлите.
（цензуриране）
Време на публикуване: 24 юни 2024 г