Какво е TGV?
TGV, (Through-Glass via), технология за създаване на проходни отвори върху стъклен субстрат, казано с прости думи, TGV е висока сграда, която пробива, запълва и свързва нагоре и надолу стъклото, за да изгради интегрални схеми върху стъклото етаж.Тази технология се счита за ключова технология за следващото поколение 3D опаковки.
Какви са характеристиките на TGV?
1. Структура: TGV е вертикално проникващ проводим отвор, направен върху стъклен субстрат.Чрез отлагане на проводим метален слой върху стената на порите, горният и долният слой на електрическите сигнали са свързани помежду си.
2. Производствен процес: Производството на TGV включва предварителна обработка на субстрата, изработване на дупки, отлагане на метален слой, запълване на дупки и етапи на изравняване.Обичайните производствени методи са химическо ецване, лазерно пробиване, галванопластика и т.н.
3. Предимства на приложението: В сравнение с традиционния метален проходен отвор, TGV има предимствата на по-малък размер, по-висока плътност на окабеляването, по-добро разсейване на топлината и т.н.Широко използван в микроелектрониката, оптоелектрониката, MEMS и други области на взаимно свързване с висока плътност.
4. Тенденция на развитие: С развитието на електронните продукти към миниатюризация и висока интеграция, технологията TGV получава все повече и повече внимание и приложение.В бъдеще неговият производствен процес ще продължи да се оптимизира, а неговият размер и производителност ще продължат да се подобряват.
Какво представлява процесът TGV:
1. Подготовка на стъклен субстрат (a): Подгответе стъклен субстрат в началото, за да сте сигурни, че повърхността му е гладка и чиста.
2. Пробиване на стъкло (b): Лазер се използва за образуване на отвор за проникване в стъкления субстрат.Формата на дупката обикновено е конусовидна, като след обработка с лазер от едната страна се обръща и обработва от другата страна.
3. Метализиране на стената на отвора (c): Метализирането се извършва върху стената на отвора, обикновено чрез PVD, CVD и други процеси за образуване на проводим метален зародишен слой върху стената на отвора, като Ti/Cu, Cr/Cu и др.
4. Литография (d): Повърхността на стъклената подложка е покрита с фоторезист и фотошаблони.Открийте частите, които не се нуждаят от покритие, така че да бъдат изложени само частите, които се нуждаят от покритие.
5. Запълване на дупки (e): Галванично покритие на мед за запълване на стъклото през дупки, за да се образува пълна проводима пътека.Обикновено се изисква дупката да е напълно запълнена без дупки.Имайте предвид, че Cu в диаграмата не е напълно попълнен.
6. Плоска повърхност на субстрата (f): Някои процеси на TGV ще изравнят повърхността на запълнения стъклен субстрат, за да гарантират, че повърхността на субстрата е гладка, което е благоприятно за следващите етапи на процеса.
7. Защитен слой и клемна връзка (g): На повърхността на стъкления субстрат се образува защитен слой (като полиимид).
Накратко, всяка стъпка от процеса на TGV е критична и изисква прецизен контрол и оптимизация.В момента предлагаме TGV технология за отваряне на стъкло, ако е необходимо.Моля, не се колебайте да се свържете с нас！
(Информацията по-горе е от интернет, цензура)
Време на публикуване: 25 юни 2024 г