Съдържание
1. Преглед и основни функции на FOUP
2. Структурни и конструктивни характеристики на FOUP
3. Класификация и насоки за прилагане на FOUP
4. Операции и значение на FOUP в производството на полупроводници
5. Технически предизвикателства и бъдещи тенденции в развитието
6. Персонализирани решения и сервизна поддръжка на XKH
В процеса на производство на полупроводници, унифицираният контейнер с предно отваряне (FOUP) е критичен контейнер, използван за защита, транспортиране и съхранение на пластини. Вътрешността му може да побере 25 броя пластини с размер 300 мм, а основните му компоненти включват контейнер с предно отваряне и специална рамка на вратата за отваряне и затваряне. FOUP е носач на сърцевината в автоматизираната транспортна система във фабрики за 12-инчови пластини. Обикновено се транспортира в затворено състояние и се отваря само когато се избута към порта за зареждане на оборудването, което позволява пластините да бъдат прехвърлени в порта за зареждане/разтоварване на оборудването.
Дизайнът на FOUP е адаптиран към изискванията на микросредата. Той разполага с прорези отзад за поставяне на пластини, а капакът е специално проектиран да съответства на скобата на отварящото устройство. Роботите за обработка на пластини работят в чиста въздушна среда от клас 1, което гарантира, че пластините не се замърсяват по време на предаването. Освен това, FOUP се премества между технологичните инструменти чрез автоматизирана система за обработка на материали (AMHS). Съвременните фабрики за пластини използват предимно надземни железопътни системи за транспортиране, докато някои по-стари фабрики могат да използват наземни автоматизирано направлявани превозни средства (AGV).
FOUP не само позволява автоматизирано прехвърляне на пластини, но и изпълнява функция за съхранение. Поради многобройните производствени стъпки, завършването на целия технологичен процес на пластините може да отнеме месеци. В комбинация с високите месечни обеми на производство, това означава, че десетки хиляди пластини в рамките на една фабрика са постоянно в движение или временно складирани по всяко време. По време на съхранение FOUP периодично се продухват с азот, за да се предотврати контактът на замърсители с пластините, осигурявайки чист и надежден производствен процес.
1. Функции и значение на FOUP
Основната функция на FOUP е да предпазва пластините от външни удари и замърсяване, по-специално като избягва въздействия върху добива по време на трансфер. Той ефективно предотвратява проникването на влага чрез методи като продухване с газ и локален контрол на атмосферата (LAC), като гарантира, че пластините остават в безопасно състояние, докато чакат следващата стъпка от производството. Неговата запечатана и контролирана система позволява навлизането само на необходимите съединения и елементи, което значително намалява неблагоприятните ефекти на летливите органични съединения (ЛОС), кислорода и влагата върху пластините.
Тъй като FOUP, напълно зареден с 25 пластини, може да тежи до 9 килограма, транспортирането му трябва да разчита на автоматизирана система за обработка на материали (AMHS). За да се улесни това, FOUP е проектиран с различни комбинации от свързващи плочи, щифтове и отвори и е оборудван с RFID електронни етикети за лесна идентификация и класификация. Това автоматизирано боравене почти не изисква ръчна работа, което значително намалява процента на грешки и повишава безопасността и точността на производствения процес.
2. Структура и класификация на FOUP
Типичните размери на FOUP (фунитура за пренос на оборудване) са приблизително 420 мм ширина, 335 мм дълбочина и 335 мм височина. Основните му структурни компоненти включват: горна OHT (гъбовидна глава) за транспортиране с надземно повдигане; предна врата за достъп до оборудване; странични дръжки, често с цветово кодиране, за да се разграничат технологичните зони с различни нива на замърсяване; зона за карти за поставяне на карти със съобщения; и долен RFID етикет, който служи като уникален идентификатор за FOUP, позволявайки на инструментите и надземните повдигачи да го разпознават. Основата е оборудвана и с четири отвора за идентификация и позициониране за съпоставяне с инструменти и разграничаване на технологичните зони.
Въз основа на употребата, FOUP се класифицират в три вида: PRD (за производство), ENG (за инженерни пластини) и MON (за мониторни пластини). PRD FOUP могат да се използват за производство на продукти, ENG типовете са подходящи за научноизследователска и развойна дейност или експерименти, а MON типовете са предназначени за мониторинг на процеси за стъпки като CMP и DIFF. Важно е да се отбележи, че PRD FOUP могат да се използват както за ENG, така и за MON цели, а ENG типовете могат да се използват за MON, но обратната операция крие рискове за качеството.
Класифицирани по ниво на замърсяване, FOUP могат да бъдат разделени на FE FOUP (процес на преден край, без метал), BE FOUP (процес на заден край, съдържа метал) и такива, специализирани за специфични метални процеси, като NI FOUP, CU FOUP и CO FOUP. FOUP за различните процеси обикновено се различават по цвета на страничните дръжки или панелите на вратата. FOUP от процеси на преден край могат да се използват в процеси на заден край, но FOUP от заден край никога не трябва да се използват в процеси на преден край, тъй като това би довело до риск от замърсяване.
Като ключов доставчик в производството на полупроводници, FOUP, чрез висока автоматизация и строг контрол на замърсяването, гарантира безопасността и чистотата на пластините по време на производствения процес, което го прави незаменима инфраструктура в съвременните фабрики за пластини.
Заключение
XKH е ангажирана да предоставя на клиентите си високо персонализирани решения за унифицирани подове с предно отваряне (FOUP), стриктно спазвайки вашите специфични изисквания за процесите и спецификациите на интерфейса на оборудването. Използвайки усъвършенствана технология за материали и прецизни производствени процеси, ние гарантираме, че всеки FOUP продукт осигурява изключителна херметичност, чистота и механична стабилност. Нашият технически екип притежава задълбочени познания в индустрията, предлагайки цялостна поддръжка през целия жизнен цикъл - от консултации при избора и структурна оптимизация до почистване и поддръжка - осигурявайки безпроблемна интеграция и ефективно сътрудничество между FOUP и вашата автоматизирана система за обработка на материали (AMHS), както и оборудването за обработка. Ние последователно даваме приоритет на безопасността на пластините и повишаването на добива на продукцията като наши основни цели. Чрез иновативни продукти и всеобхватни технически услуги, ние предоставяме солидна гаранция за вашите процеси за производство на полупроводници, като в крайна сметка повишаваме ефективността на производството и добива на продукти.
Време на публикуване: 08 септември 2025 г.