12-инчова сапфирена пластина за производство на полупроводници в големи обеми

Кратко описание:

12-инчовата сапфирена пластина е проектирана да отговори на нарастващото търсене на производство на полупроводници и оптоелектроника с голяма площ и висока производителност. Тъй като архитектурите на устройствата продължават да се мащабират и производствените линии се насочват към по-големи формати на пластини, сапфирените подложки с ултраголеми диаметри предлагат ясни предимства по отношение на производителността, оптимизацията на добива и контрола на разходите.

Изпратете ни имейл

Характеристики

Подробна диаграма

pl30139633-12_сапфирено_стъкло2_пластмаса

Въвеждане на 12-инчова сапфирена пластина

Произведени от високочист монокристален Al₂O₃, нашите 12-инчови сапфирени пластини съчетават отлична механична якост, термична стабилност и качество на повърхността. Чрез оптимизиран растеж на кристалите и прецизна обработка на пластините, тези подложки осигуряват надеждна производителност за усъвършенствани LED, GaN и специални полупроводникови приложения.

Характеристики на материала

Сапфирът (монокристален алуминиев оксид, Al₂O₃) е добре известен със своите изключителни физични и химични свойства. 12-инчовите сапфирени пластини наследяват всички предимства на сапфирения материал, като същевременно осигуряват много по-голяма използваема повърхност.

Ключовите характеристики на материала включват:

Изключително висока твърдост и износоустойчивост
Отлична термична стабилност и висока точка на топене
Превъзходна химическа устойчивост на киселини и основи
Висока оптична прозрачност от UV до IR дължини на вълните
Отлични електроизолационни свойства

Тези характеристики правят 12-инчовите сапфирени пластини подходящи за тежки условия на обработка и високотемпературни процеси на производство на полупроводници.

Производствен процес

Производството на 12-инчови сапфирени пластини изисква усъвършенствани технологии за растеж на кристали и ултрапрецизна обработка. Типичният производствен процес включва:

Растеж на монокристали
Сапфирените кристали с висока чистота се отглеждат с помощта на съвременни методи като KY или други технологии за растеж на кристали с голям диаметър, осигуряващи равномерна ориентация на кристалите и ниско вътрешно напрежение.
Оформяне и рязане на кристали
Сапфиреният слитък е прецизно оформен и нарязан на 12-инчови пластини, използвайки високопрецизно режещо оборудване, за да се сведе до минимум повредата на подповърхността.
Полиране и притискане
За постигане на отлична грапавост, плоскост и равномерност на дебелината на повърхността се прилагат многоетапни процеси на притриване и химико-механично полиране (CMP).
Почистване и инспекция
Всяка 12-инчова сапфирена пластина преминава през щателно почистване и стриктен контрол, включително анализ на качеството на повърхността, TTV, извивка, деформация и дефекти.

Приложения

12-инчовите сапфирени пластини се използват широко в напреднали и нововъзникващи технологии, включително:

Високомощни и високояркостни LED субстрати
GaN-базирани захранващи устройства и RF устройства
Носач на полупроводниково оборудване и изолационни подложки
Оптични прозорци и оптични компоненти с голяма площ
Усъвършенствани полупроводникови опаковки и специални носители на процеси

Големият диаметър позволява по-висока производителност и подобрена икономическа ефективност при масово производство.

Предимства на 12-инчовите сапфирени пластини

По-голяма използваема площ за по-висока производителност на устройството на пластина
Подобрена съгласуваност и еднородност на процеса
Намалени разходи за устройство при производство с голям обем
Отлична механична якост за работа с големи размери
Персонализируеми спецификации за различни приложения

Опции за персонализиране

Предлагаме гъвкаво персонализиране на 12-инчови сапфирени пластини, включително:

Кристална ориентация (C-равнина, A-равнина, R-равнина и др.)
Толеранс на дебелина и диаметър
Едностранно или двустранно полиране
Профил на ръб и дизайн на фаска
Изисквания за грапавост и плоскост на повърхността

Параметър	Спецификация	Бележки
Диаметър на пластината	12 инча (300 мм)	Стандартна пластина с голям диаметър
Материал	Монокристален сапфир (Al₂O₃)	Висока чистота, електронен/оптичен клас
Кристална ориентация	C-равнина (0001), A-равнина (11-20), R-равнина (1-102)	Налични са опционални ориентации
Дебелина	430–500 μm	Предлага се персонализирана дебелина при поискване
Толеранс на дебелина	±10 μm	Твърда толерантност за съвременни устройства
Обща вариация на дебелината (TTV)	≤10 μm	Осигурява равномерна обработка по цялата пластина
Лък	≤50 μm	Измерено по цялата пластина
Варп	≤50 μm	Измерено по цялата пластина
Повърхностно покритие	Едностранно полирано (SSP) / Двустранно полирано (DSP)	Високо оптично качество на повърхността
Грапавост на повърхността (Ra)	≤0,5 nm (полирано)	Гладкост на атомно ниво за епитаксиален растеж
Профил на ръба	Скосяване / Заоблен ръб	За да се предотврати нащърбване по време на обработка
Точност на ориентацията	±0,5°	Осигурява правилен растеж на епитаксиалния слой
Плътност на дефектите	<10 см⁻²	Измерено чрез оптична проверка
Плоскост	≤2 μm / 100 mm	Осигурява равномерна литография и епитаксиален растеж
Чистота	Клас 100 – Клас 1000	Съвместим с чисти помещения
Оптично предаване	>85% (UV–IR)	Зависи от дължината на вълната и дебелината

Често задавани въпроси за 12-инчови сапфирени пластини

В1: Каква е стандартната дебелина на 12-инчова сапфирена пластина?
A: Стандартната дебелина варира от 430 μm до 500 μm. Могат да се произвеждат и дебелини по поръчка според изискванията на клиента.

В2: Какви ориентации на кристалите са налични за 12-инчови сапфирени пластини?
A: Предлагаме ориентации в C-равнина (0001), A-равнина (11-20) и R-равнина (1-102). Други ориентации могат да бъдат персонализирани въз основа на специфичните изисквания на устройството.

В3: Каква е общата вариация на дебелината (TTV) на пластината?
A: Нашите 12-инчови сапфирени пластини обикновено имат TTV ≤10 μm, което осигурява равномерност по цялата повърхност на пластината за висококачествено производство на устройства.

За нас

XKH е специализирана във високотехнологично разработване, производство и продажби на специално оптично стъкло и нови кристални материали. Нашите продукти обслужват оптичната електроника, потребителската електроника и военните. Предлагаме сапфирени оптични компоненти, капаци за лещи за мобилни телефони, керамика, LT, силициев карбид SIC, кварц и полупроводникови кристални пластини. С квалифициран опит и авангардно оборудване, ние се отличаваме в обработката на нестандартни продукти, като се стремим да бъдем водещо високотехнологично предприятие за оптоелектронни материали.